bedingung bedeutet, steigt das Reflexionsvermögen wieder an. Dies liegt daran, daß die
von der Grenzfläche Schicht/Objekt reflektierte Amplitude durch Absorption soweit
geschwächt wird, daß sie am Ort der Überlagerung kleiner ist als die Amplitude der an der
Schichtoberfläche reflektierten Welle. Läßt man zunächst einmal die spektrale Dispersion des
Absorptionskoeffizienten des Schichtwerkstoffs unberücksichtigt, so zeigt Fig. 14 deutlich,
wie für eine vorgegebene Interferenzwellenlänge (Amin z.B. 550 nm) das Reflexionsver-
mögen im Minimum mit steigender Interferenzordnung abnimmt. Dies besagt, daß mit
wachsender Schichtdicke die Amplitudenbedingung besser erfüllt oder bereits übererfüllt
werden kann.
Darüber hinaus erlaubt Fig. 14 eine Aussage über den Einfluß einer Dispersion des
Absorptionskoeffizienten im sichtbaren Spektralbereich auf den Grad der Auslöschung
durch Interferenz. Der Absorptionskoeffizient nimmt bei der Aufdampfsubstanz Sb, Ss zu
kürzeren Wellenlängen hin zu. Eine Zunahme der Absorptionskoeffizienten ist jedoch
gleichbedeutend mit einer Schichtdickenerhöhung. In Übereinstimmung damit zeigt Fig. 14,
daß mit Zunahme der Absorption zu kürzeren Wellenlängen hin zur Erfüllung der Ampli-
tudenbedingung bereits eine geringere Schichtdicke, also eine kleinere Ordnung der Inter-
ferenz ausreicht.
Verfahrensmäßig bedeutet gerade die Verwendung absorbierender Schichtwerkstoffe eine
Erweiterung der Einsatzmöglichkeiten der Interferenzschichten-Mikroskopie in der Metallo-
graphie. Die Vielzahl höchstreflektierender Gefügebestandteile kann damit in gleicher Weise
ohne chemischen Angriff entwickelt und gedeutet werden, wie beispielsweise die der Über-
gangsmetalle und deren intermetallischen Verbindungen.
5. Einsatzmöglichkeiten des Interferenzschichten-Verfahrens
In der schematischen Darstellung von Fig. 15 wird dabei zwischen der Möglichkeit zur
kontrastreichen Darstellung von Gefügen oder metallkundlichen Phänomenen und der auf
Meßdaten aufbauenden und somit von subjektiven Einflüssen freien Gefügebeschreibung mit
Hilfe des Verfahrens unterschieden.
Diese Übersicht durch Einzelbeispiele zu erläutern, hieße bereits vorhandene Literatur-
zusammenstellungen®* ? durch eine weitere zu ergänzen. Lediglich im Zusammenhang mit
der Erfassung der Konzentrationsänderungen von Mischkristallen soll ein noch nicht ver-
öffentlichtes Ergebnis vorgestellt werden, das auf die Möglichkeit hindeutet, auch Ordnungs-
zustände im Gitter über die Messung des Reflexionsvermögens zu erfassen. Trägt man das
Reflexionsvermögen im Minimum innerhalb einer Eisen-Aluminium-Mischkristall-Reihe
gegen den in einer Diffusionszone gemessenen Aluminiumgehalt auf, so beobachtet man bei
einer Al-Konzentration von etwa 10 Gew.-% Unregelmäßigkeiten im Kurvenlauf (Fig. 16).
Diese Abweichungen der Reflexionswerte im Konzentrationsbereich zwischen 10 und
14 Gew.-% Aluminium konnten nach Bedampfungen mit drei unterschiedlichen Schicht-
werkstoffen (ZnS, ZnTe, ZnSe) beobachtet werden.
Vergleicht man diese Ergebnisse aus den Reflexionsmessungen mit den von Rassmann und,
Wich!? gefundenen Werten für die elektrische Leitfähigkeit beim Auftreten geordneter
Bereiche von Fez Al, so ergibt sich eine bemerkenswerte Übereinstimmung im Kurvenverlauf.
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