Scannin
CS ATEM
IS] (Si me a =
1 2) — 5 ————
| n
> Scan D Sn
2 1 b- A)
P Bl m =
/ -
T 7) _ =
Fig. 1. Schema eines Rastermikroskops. Der abtas- Fig. 2. Die rasterförmige Abtastung der Objekt- a
tende Strahl ist durch eine Wellenlinie dargestellt, und der Bildfläche wird dadurch erzeugt, daß die ET
das gemessene physikalische Phänomen durch Aus- zur Ablenkung in X-Richtung dienende Sägezahn-
schnitte aus der Kugelwelle angedeutet. Vom Meß- spannung eine um den Faktor N höhere Frequenz Fi
fühler geht das Signal über einen Verstärker auf ein als die für die Ablenkung in Y-Richtung verwen- Ta;
Anzeigeinstrument und eine Kathodenstrahlröhre, dete hat.
Pi 3000:1 — 7 1 um
— 100 um
—— ; =] 11mm
#1 11000:1 ' 4 $
nd /
Fig. 3a. Oben: Das Objekt (links) wird gerade voll- Fig. 3b. Zur Erläuterung der verwendeten Maß- N
ständig von den einzelnen Zeilen überdeckt. Die stab-Striche an den Mikroaufnahmen.
vergrößerte Abbildung auf dem Bildschirm (rechts)
gibt in etwa das Objekt formgetreu wieder. Wird Fi
bei der selben Zeilenzahl eine dreifach niedere Ver-
größerung gewählt, erreicht der abtastende Strahl |
nur noch ein Drittel der Objektfläche, das Objekt Fi
wird nicht mehr richtig abgebildet, tr
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