Full text: Fortschritte in der Metallographie

Über einige Untersuchungen von Grauguß 
mit Hilfe des Elektronenemissionsmikroskopes 
JOZE PIRS 
(Fakultät für Maschinenbauwesen der Universität Zagreb in Rijeka/Jugoslawien) 
1. Einleitung 
Obwohl die Emissionsmikroskopie ziemlich früh in der allgemeinen Entwicklung der 
Elektronenmikroskopie berücksichtigt wurde! °i8 5, wurde sie doch erst wieder durch die 
Arbeiten von Recknagel” aufgegriffen, in denen gezeigt wurde, daß das Auflösungsvermögen 
von der Feldstärke und vom Objekt abhängt. Während bei den ersten Versuchen die 
Strahlspannung fast stets unter 10 KV blieb, waren jetzt Beschleunigungsspannungen von 30 
und 40 KV üblich. Damit stieg auch das Auflösungsvermögen sprunghaft an, wie die 
Arbeiten von Kinder®, Boersch?, Mahl‘° und Mecklenburg!‘ gezeigt haben. Eine ähnliche 
Entwicklung zeigte sich aber auch in der Form des Abbildungssystems. Während in den 
ersten Arbeiten als Objektive normale Strahlsysteme benutzt wurden, arbeiteten 1942 
Mecklenburg und 1944 Kinder schon mit speziellen elektrostatischen Immersionsobjektiven. 
1944 benutzte Kinder‘? zum erstenmal mit Erfolg ein magnetisches Immersionsobjektiv. 
Die Entwicklung der thermischen Emissionsmikroskopie wurde ab 1950 vorwiegend durch 
Rathenau'?> !* und Bass!> fortgesetzt und führte zum Bau eines Emissionsmikroskopes, 
das auch als Verkaufsgerät gefertigt wurde. 
Die Abbildung mit durch Elektronenbeschuß ausgelösten Sekundärelektronen wurde von 
Weissenberg, Wiskott und Bartz!® is 18 und die Abbildung mit durch Ionenbeschuß 
ausgelösten Sekundärelektronen durch Möllenstedt‘? , .Bayh*° , Keller, Düker**?* und 
Bethge*? weitergetrieben. 
Das Auflösungsvermögen umfaßt bei den genannten Arbeiten Werte von mehreren um bis 
herab zu 1000 Ä. In einigen Fällen?” !*» 17»?! wurden sogar Werte von 500 Ä angegeben. 
1959 konnte Panzer? ® eine Linientrennung von 200 Ä nachweisen. Das Auflösungsvermögen 
von Emissionsmikroskopen beträgt nach jüngsten Arbeiten in thermischer Emission 200 bis 
500 Ä. Während bis etwa 1950 die benutzten Objekte vorwiegend dem Nachweis der 
vorhandenen Geräteauflösung dienten, wurde erst von Rathenau und Baas das 
Emissionsmikroskop zur Untersuchung des Korngefüges von Metallen benutzt. Obgleich ein 
technisch und physikalisch gut durchüberlegtes Emissionsmikroskop mit ionenausgelösten 
Elektronen für Forschung und Technik, insbesondere aber für die Metallkunde ein wertvolles 
Instrument sein kann, lassen die vereinzelt erscheinenden Veröffentlichungen erkennen, daß 
Ne Anwendung des Emissionsmikroskops in der Metallforschung noch sehr gering ist?® bis 
In dieser Arbeit wurde versucht darzulegen, daß die Emissionselektronenmikroskopie eine 
wertvolle Ergänzung zu den anderen Verfahren darstellt und ein verstärkter Einsatz 
gerechtfertigt ist. Es wird das verwendete Emissionsmikroskop beschrieben und im zweiten 
211
	        
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