Zusammenfassung
prä- Es werden zwei Verfahren zur Kontrastierung bei der Abbildung von ebe-
n nen Oberflächen im Rasterelektronenmikroskop vorgestellt. Eine Methode
nt- nützt eine Steigerung des Ordnungszahlunterschieds der quantitativ
metallographisch zu vermessenden Phasen durch selektive Aufbringung
nta- chemischer Schichten aus. Dadurch entsteht auch bei Phasen niedrigen
hst Ordnungszahlunterschieds im Rückstreuelektronenbild ein ausreichender
ohen Kontrast. Bei sehr feinen Gefügen, bei denen das Auflösungsvermögen
pha- der Rickstreuelektronen nicht mehr ausreicht, werden die niederener-
‚em getischen Sekundärelektronen zur Abbildung verwendet. Hierbei wird
‚ch eine unterschiedliche Mikrorauhigkeit verschiedener Phasen bei frisch
Auf polierten Proben zur Kontrastentstehung genutzt. Mit den beschriebenen
M Methoden lassen sich sehr feine Gefligeteilchen durch quantitative Mes-
sungen erfassen, die ansonsten wegen schlechter Kontrast- und Auflo-
nn sungseigenschaften unberücksichtigt bleiben mußten.
wer-
Literatur
/1/ Seiler, H.: BEDO 1 (1968) 27
/2/ Goldstein, J.I., Yakowitz, H.: Practical Scanning Electron Micro-
scopy (1975) 108
/3/ Gahm, H., Jeglitsch, F., Hörl, E.: Prakt. Met. 19 (1982) 369
/4/ Weck, E., Leistner, E.: Metallogr. Anleitung zum Farbätzen,
DVS (1982)
/5/ Beraha, E., Shpilger, B.: Colour Metallogr. ASM (1977)
/6/ Beckert, M., Klemm, H.: Handb. der metallogr. Atzverfahren ,
VEB DVA, Leipzig (1962) 138
/7/ Reimer, L., Seidel, H., Gilde, H.: BEDO 1 (1968) 53
/8/ Seiler, H.: SEM IITRI 1 (1976) 9
/9/ Pfefferkorn, G., Blaschke, R.: BEDO 1 (1968) 1
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