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Abb. 6: Unterschiedliche Mikrorauhigkeit auf der Aluminium- und Si- 
liziumoberflédche bei 6000-facher REM-VergrdBerung. 
Da eine solche Mikrorauhigkeit großen Einfluß auf die Sekundidrelektro- 
nenausbeute einer Oberfläche ausübt /9/, liegt die Vermutung nahe, daß 
die inverse Kontrastverstärkung in Abb. 5 auf unterschiedliche Ober- 
flächenrauhigkeiten von Aluminium und Silizium zurückzuführen ist. Um 
diese Hypothese zu unterstützen, wurde in verschiedenen Experimenten 
diese Mikrorauhigkeit entweder durch selektives Ätzen abgetragen oder 
durch Belegen mit Oberflächenschichten zugedeckt. 
Abtragen_der_Mikrorauhigkeit: Abb. 7 zeigt beide Phasen ohne Mikro- 
rauhigkeit. Hierbei wurde eine 2 um dicke Aluminiumlage elektrolytisch 
abgetragen, die Siliziumkristalle blieben unbeeinflußt. Die Abtragungs- 
tiefe wurde an Stereobildpaaren im Stereometer vermessen, um zu gewähr- 
ıdär- leisten, daß keine wesentlichen Kontrastverschiebungen durch das unter- 
2 schiedliche Niveau von Aluminium und Silizium auftreten. Deutlich wird 
erkennbar, daß die Helligkeit der beiden Phasen gemäß ihres geringen 
Ordnungszahlunterschieds fast identisch ist. Die Helligkeit der unver- 
änderten Siliziumphase bleibt konstant, während die Aluminiumphase 
hier ihre Mikrorauhigkeit verloren hat und daher dunkler erscheint als 
vorhe-. 
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