Polieren
1 2 3 4
Unterlagen TEXMET MICROCLOTH
KorngroBe 15um 6um 3um lum
Schmiermittel LUBRICANT blau
Geschwindigkeit 4 4 4 4
Belastung Vollast kon- ?1/, konstant
stant
Zeit/min 10 5 5 5-10
3)Elektrolytisches Polieren an Bandoberflächen
Gerät: POLECTROL®” (Fa. STRUERS)
Die Vorbedingung beim elektrolytischen Polieren der spröden Sili-
ziumbandoberflächen ist, daß die ca, 20mm langen Bandabschnitte
mit Leitsilber oder Zweikomponentenleitkleber (Fa. DEMETRON)
auf einem V2A-Blech kontaktiert sind. Mit einem sdurefesten Lack
(LACOMIT VARNISH, Fa. AGAR AIDS) sind die Spalten zwischen dem
V2A-Blech und dem Siliziumband abgedichtet (Fig 3).
Tabelle 4
Polierdaten:
Elektrolyt: 5%ige wässrige FluBsdure
Bereich (cm?): 1
ı bein Spannung (V): 60
he Ver- Stromstärke (A): 2,5...3
v erfol- Flowrate: 3?*/2
Zeit (sec): 40
Die Zusammensetzung der Ätzmittel sind in der nachfolgenden Ta-
belle angegeben.
Prakt. Met. Sonderbd. 21 (1990)
187%