Tabelle 5 keine 
Ätzmittel: ert 
1. 95ml Salpetersäure 1,4 + 5ml FluBsidure 40%ig g0gär 
2. 100ml dest. Wasser + 50-100g Natriumhydroxid wl 
3. 90ml dest. Wasser + 5ml Salpetersäure 1,4 + 5ml Flußsäure proz€ 
40%ig te fü 
4. 0,15 molare wässrige Kaliumdichromat- oder walls 
Natriumdichromatldsung + FluBsidure 40%ig im der 6 
Mischungsverhältnis 1:2, Ätzzeit: 1-5 sec Saume 
5. Externes Ätzen mit 10%iger wässriger Oxalsäure, 4-6V, V2A- satz! 
Kathode, Ätzzeit: 10-20 sec Fire 
5. Internes elektrolytisches Atzen mit 5%iger wassriger 
FluBsdure (500ml dest. Wasser + 58ml FluBsidure 48%ig), 3V, 
Flowrate 4%*/., 40 sec 
Jusaz 
Lichtmikroskopische Gefiigeuntersuchungen ne 51 
Für die Anwendung bei Solarzellen wird eine Gefügeausbildung mit 
säulenförmigen Körnern (Kolumnarstruktur) senkrecht zur Ebene Die v 
des rascherstarrten Siliziumbandes angestrebt, da Korngrenzen pa- tallo 
rallel zur Bandebene als unerwünschte Rekombinationszentren für volyk 
die Minoritätsträger wirken /5/. Die Korngröße sollte zumindest 
im Bereich der Foliendicke liegen, um den Wirkungsgrad der Solar- 
zelle zu verbessern. 
Liter 
Die nach dem Bandgießverfahren hergestellten rascherstarrten kri- 
stallinen Siliziumbänder besitzen zwei unterschiedliche Oberflä- 
chenmorphologien. Die Bandunterseite, die im Kontakt mit der 
Kühlwalze erstarrt ist, wirkt mattglänzend und glatt, während 
die Oberseite eine gröbere Struktur und häufig tropfenartige Er- 
hebungen aufweist, deren Anordnung und Ausbildung durch die 
Erstarrungsanomalie des Siliziums bedingt ist. Beispiele für das 
typische Aussehen der Bandober- und Bandunterseite zeigen die 
Fig. 4 bis 6. In Fig. 6 ist deutlich zu erkennen, daß die Unter- 
seite zwar glatter aber offensichtlich auch feinkörniger ist. 
Das bestätigt sich in Fig. 7. Das geätzte Gefüge im Querschliff 
ist auf der Bandunterseite durchweg feinkristallin, während sich 
auf der Bandoberseite größere Körner ausgebildet haben. Die Korn- 
größe liegt im Mittel bei etwa 45um, im Bereich des feinkristal- 
linen Saums bei ca. 10um. 
Die Fig. Ba und 9 zeigen als Quer- bzw. Oberflichenschliff die 
Korngrenzenidtzung einer rascherstarrten Siliziumprobe, die 
Prakt. Met. Sonderbd. 21 (1990) 
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