Die hier beschriebenen Untersuchungen wurden an einem mikrolegierten Stahl
durchgeführt, dessen Zusammensetzung aus Tab. 2 ersichtlich ist.
Fang
Säge erst dünne
leßend feilt man
‘siterbehandlung
L Stufe soll ein
{ain Z-phasiger
dünne Schicht
ner niedrigen
abbewegt, Nach
issives Ätzmittel
ne, gleichmäßige Abb. 3: Hellfeld- (oben) und
Dunkel feldaufnahme
re Probenteil zu einer Spitze im TEM
lustand für das 150.000 x
skop nachpoliert
ser) in das bei Die Probe von Abb. 3 zeigt einen Spitzenradius von etwa 20 nm, sodaß im Feldionen-
Yene die Probe mikroskop ab 3.500 V (Gl. 1) ein Bild erwartet werden darf, Unter günstigen Bedin-
ı von Hand aus- * gungen (Probe bricht nicht) könnte die Probenspitze durch Feldverdampfung etwa
a Herstellen von 500 nm tief abgetragen werden, was zu einem neuen Spitzenradius von etwa 100 nm
5b. 3 zeigt de führen würde, wobei für das "Best Field Image" nunmehr 17.500 V (zur Analyse im
ıde präperierten Pulsbetrieb bei 15 % Spannungsüberhöhung etwa 20 kV) erforderlich wären. Das Ar-
‚ansichtllich an beiten mit höheren Spannungen vermeidet man wegen der Gefahr einer Beschädigung
ge. einige dieser der angeschlossenen elektronischen Geräte durch Überschläge.
jar Oberfläche Nach Einsetzen der Probe in den Probenhalter wird sie auf 60 K gekühlt, Neongas
eingelassen und die Spannung sehr langsam hochgefahren, um die Spitze nicht über-
mäßig zu belasten und um die Oberflächenrauhigkeiten zu beseitigen. Ist dies erfüllt,
so sieht man die Netzebenen einzelner Gitterrichtungen gut als konzentrische Kreise
(Abb. 4). Im abgebildeten Beispiel ist aufgrund der 3-zähligen Symmetrie eine an-
nähernde [111]-Orientierung der Spitze erkennbar. Die Identifizierung der Gitter-
ebenen erlaubt durch das Zählen der verschwindenden Netzebenenringe eine sehr
1% 10.01. genaue Bestimmung der Abdampfrate bei der Feldverdampfung sowie die Ermittlung
der Teilchengrößen, obwohl die jeweilige lokale Krümmung der Probe und damit auch
die Vergrößerung nicht exakt bekannt ist,
Prakt. Met. Sonderbd. 21 (1990)
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