Zur Analyse geht man folgendermaßen vor: Sobald ein Teilchen am Bildschirm sicht- 
bar wird, nimmt man die Spannung etwas zurück, um weitere Feldverdampfung zu 
verhindern. Dann verschiebt und verdreht man Probenhalter und Probe so lange, bis 
das Teilchen über dem Loch in der Mitte des Bildschirms zu liegen kommt. 
Schließlich wird das Neongas abgepumpt und die pulsierende Spannung überlagert, 
wodurch Ionen aus der Probe ausgelöst werden und nach einer Flugstrecke von 
Lo etwa 2 m den Atomsondendetektor erreichen. Der angeschlossene Rechner ermittelt 
= aus der Flugzeit nach Gl. 2 das m/n-Verhaltnis und zeigt jeden Wert am Bildschirm. 
= ws Wenn nach einer gewissen Zeit fast nur mehr die Werte für Eisen erscheinen, so ist 
= EN das Teilchen abgedampft und man sucht ein neues, Da die meisten Ausscheidungen 
N kleiner als das Bild des Loches sind, erhält man nicht nur Ionen des Teilchens 
. sondern auch der Matrix (Fe, Mn, Si), wie eine idealisierte Haufigkeitsverteilung des 
; Teilchenober- m/n-Wertes (Abb. 7) zeigt. 
verdanpfung ht 
Co Anzahl 
58 des Feldes Ionen 
Aloms bewirkt 2 
ı (Abb, 5), Wird m/n =0.193 (Vpr+Vp) x 
Peldstärke ist 
n Fall erscheint 
zTöße etwa 3 - 
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Abb. 7: Beispiel einer Atomsonden-Analyse; Haufigkeitsverteilung der Ionen 
Ein gewisses Problem ergibt sich durch die Uberschneidung der Sitt- mit den N*t- 
Ionen, Um das Vorhandensein der Matrixionen in den Teilchen mit Sicherheit aus- 
schließen zu können, müssen größere Partikel gesucht und analysiert werden. 
Zweckmäßigerweise betrachtet man die Nadeln vor Einbau in das FIM mit dem TEM, 
um nahe der Spitze gelegene Teilchen zu finden. In Abb. 8 ist ein oberflichennahes 
Teilchen etwa 100 nm hinter der Spitze zu sehen, das an einer Versetzungsstruktur 
(möglicherweise Subkorngrenze) liegt. Nach längerer Betrachtung und Feldver- 
dampfung im FIM brach ein Teil der Spitze ab und legte das Teilchen frei, welches 
groß genug für eine Analyse ohne Matrixeinfluß ist. Dabei wurden keinerlei Eisen- 
und Manganionen gemessen. 
Prakt. Met. Sonderbd. 21 (1990) 
Fe 
ZZ 1