funden, in Probe B etwa 10'%* Teilchen/cm® mit d = 1,5 nm, während in Probe C
keine Teilchen auftraten. Der Metallanteil der Ausscheidungen beträgt 60 - 70 at% V,
25 - 20 at% Nb und 15 - 10 at% Tij vereinzelt wurden auch Cr- und Mo-Ionen ge-
messen. Das Kohlenstoff/Stickstoff-Verhältnis ist sehr hoch (etwa 10:1), sodaß die
analysierten Teilchen als V-reiche MC-Karbide mit leicht überstöchiometrischem
Metallanteil angesehen werden können.
Abschließend sollen die Vor- und Nachteile der Anwendung der Feldionenmikroskopie
mit Atomsonde zur Charakterisierung von Mikroausscheidungen (< 10 nm) gegenüber-
gestellt werden. Nachteilig ist sicher der hohe Zeitaufwand für die gesamte Unter-
suchung, angefangen von der Präparation der Probenspitzen, vergleichbar etwa mit
der Dünnfolienherstellung. Zusätzlich kommt es im Feldionenmikroskop häufig zum
raschen Bruch der Proben wegen mechanischer Belastungen, induziert durch das
elektrische Feld, besonders bei Materialien mit hoher Versetzungsdichte und zahl-
reichen Subkorn- und Korngrenzen wie im vorliegenden Fall. Weiters müssen zur
statistischen Absicherung der Meßergebnisse viele Proben untersucht werden. Die
Überlagerung verschiedener Ionen auf der Massen/Ladungs-Skala ist ein generelles
Problem der Massenspektrometrie, das allerdings im vorliegenden Fall für
Silizium/Stickstoff zufriedenstellend gelöst werden konnte.
An Vorteilen sind zu erwähnen das Erkennen und Analysieren von kleinsten Teilchen
und Clusters bis zu Größen unter 1 nm, was zumindest hinsichtlich der Analyse mit
keiner anderen gängigen Methode (Elektronenbeugung, STEM-EDX) möglich ist.
Weiters können auch alle leichten Elemente wie z.B. C und N quantitativ erfaßt
werden. Die Größe und Zahl der Teilchen/Volumeneinheit kann durch gleichzeitiges
Zählen der abgedampften Netzebenen sehr genau bestimmt werden, wobei die Auf-
zeichnung der Feldverdampfung im FIM mittels Videocamera sehr hilfreich ist.
DANKSAGUNG
Für die finanzielle Unterstützung dieser Arbeit sei dem Österreichischen Fonds zur
Förderung der wissenschaftlichen Forschung herzlich gedankt.
LITERATUR
1. R. Kleemaier, M. Michelitsch, A. KneiBl, F. Jeglitsch, Prakt. Met. 26 (1989) 248
2. A. KneiBl, Z. Metallkunde (1990) im Druck
3. 8.8. Brenner, M.K. Miller, J. Metals (1983) 54
4. E.W. Miller, T.T. Tsong, "Field-Ion Microscopy - Principles and Applications",
Elsevier Publ. Comp., New York (1969)
5. W.R. Poschenrieder, J. Mass. Spectr. Ion Phys. 9 (1972) 357
6. R. Wagner, "Field-Ion Microscopy", Springer-Verlag Berlin Heidelberg (1982)
Prakt. Met. Sonderbd. 21 (1990)
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