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Tabelle 2: Optimierte Präparations- und Ätzmethoden für reibgeschweißte Verbindungen Cn 
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! Pripa- 'Geschwin-! 7 ’ Atzen 
Werkstoff 'rations~! Unterlage ' Korn ! digkeit Y Druck * Zeit I 
Ischritte? ) Y{v’min7*)P: Abar) ' (min) !? Makro ) Mikro 
2m... z2zalanuennael una... EEE RAS? : 
' 1. ! siC-pPapier ! 180-1200 FEPA ! 200-300 ' v.Hand 'bis plan! 12g Ammonium~ ! 
/ ) ! y 30 ml Hy0 ' bifluorid | 
2. ! TGM ' 15 pm Diamant-! 125 ‘0,3 ! ’ ! 
) ! paste ! ! : '60 ml 30% H,0,' 100 ml H,0 
} ! ) 410 LAM/PLAN |! 6 um Suspen- ! 125 ' 0,3 ! ' 
Titan | ' sion ! ) ' ' 10 ml HF ) 50 ml Alko-! 
. ! HS-Rosa ' 3 pm Suspen- | 125 1 20,250 ' hol 
! ! sion ’ ! ) 1 min ' 1,5 min 
5. ! HS-Rosa ' 1 pm Suspen- ! 125 too,25 ! ! 
| ' sion ' ’ 1 ) 
6. ! NV-Granat ' 90 ml OPS ! 125 V 0,25 } 5 ! 
N 10 m1 30% H,0,! ! ! : 
mmm tm ed EY VV ee 
. ; SiC-Papier ' 180-2400 FEPA | 200-300 ' v.Hand bis plan! 70 ml H,0 ' 45 ml Glyze-' 
: ! ) rin 
.- ' 415 LAM/PLAN ' 6 pm Suspen- ! 125 ' 0,3 ' = ‘30 ml HNO; ! 45m HNO, 
) ' sion Bl ’ ' ) 
I. ' 415 LAM/PLAN ' 3 pm Suspen- !' 125 * 0,3 1 5 ml HF ' 10 ml HF 
Zircaloy 2! ! ' sion ! ! ' 
4. ' 415 LAM/PLAN ' 1 pm Suspen- ! 125 ' 0,3 ) ;» ' (Wischätzen) ' 
' sion ’ ’ | etchen 
5. ) 410 LAM/PLAN ' 1 pm Suspen- ! 125 'oo,3 ! 3 ! 0,5 min ! 3 sec or 
) sion ' ) 4 ' 
! 6. ! NV-Granat ! OPS ’ 125 9 0,2574 15 ' ! nL 
me N Ve VV eV eV me 
! 1. © SiC-Papier , 180-2400 FEPA ! 200-300 , v.Hand "bis plan! 30 ml HCl ! elektro- Toe 
1 ) ! lytisch or 
> ) TGM ' 15 pm Diamant-! 125 000. 0,3 3 * 15m Hnoz ‘' 2V, on 
! ' paste ! ' . ! ! v2a-Rathode ' Nee 
) 410 LAM/PLAN ' 6 pm Suspen- ! 125 ' 0,3 ! 6 ' 30 ml HF ! 10 g Oxal- 
! ' sion ' ' ) ' ! säure 
- ) NV Granat N ! OPS » 125 ) 0,25 } . "100 ml H,O 
Vanadin ) ) ' ) ' 1 ee 
z. ! HS~Rosa ? 3 pm Suspen- ! 125 N 0,25 © . ' 30-45 sec co 
) 1 sion ) 1 i 
6. ! HS-Rosa ? 2 pm Suspen- ! 125 ' 0,25 1} 
i 1 sion ’ 1 ' 
7 i NV-Granat ' 50 m1 OPS ' 125 ' 0,25 I 10 It 18 dem 
) 35 ml Essigsäure ! or 
! 5 ml HF ' : may he 
) 5ml 8,0 ! ! Sl 
' 5m 803 ' ! : 
mmm ee) me eV VV ee eee eee may der 
lL. , siC-papier ! 180-1200 FEPA ! 200-300 X v.Hand 'bis plan} 30 ml HCl , 35 ml H,O 
1 1 TE 
2. ) TGM ' 15 pm Diamant-! 125 ) 0,3 ) 15 ml HNO3 ! 14 ml HNO; rT 
! ' paste ! ' ! ! Mad ı 
3. } 415 LAM/PLAN !' 6 pm Suspen- ! 125 ' 0,3 ' 30 ml HF ' 42 ml HF - 
1 ) sion 1 ) ‘ 1 
4, } NV Granat N ! 90 ml OPS ! 125 ' 0,25 i ! ! ST 
Niob ! ! 10 ml 30% H,0,! ) 2,5 min ' 25 sec 
5 ' 437-POLIMETAL! 3 pm Suspen- |! 125 ‘0,25 3 ' 
! sion ! ' 
5 } HS-Rosa ' 1 ym Suspen- ! 125 ' 0,25 . 
! ! sion ' ! ! 
. } NV-Granat ' 90 ml OPS ' 125 ‘0,25 5 
' 10 ml 30% 4202} , 
>> - . J mr NN Wa a ——— 
* ‘ SiC-Papier ! 180-2400 FEPA | 200-300 ! v.Hand !bis plan! 30 ml HCl ' 50 m1 H,0 - 
1 } 1 ' ) ) 4 ) “ JR 
? NV-Granat la) OPS ! 125 "7 e3 ' 30 ) 15 ml HNO3 ' 50 ml HF 
Tantal Ib) 40 ml ops | ’ ! wech- ! ! {3 
' 45 ml H,0 ' N ? selindg ! 30 ml HF ) 10g Ammo- : 
' 12 ml H30, | * tsosec a)! niumbifluorid? 
‘ ' 4 ml H550, ! ' 10 = Bb)! 1,5 min "100 °c ! 
: ! ' 0,4 ml uf : ! | i i 15 sec i 
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Prakt. Met. Sonderbd. 21 (1990) 
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