Prakt. Met. Sonderband 41 (2009) 89 
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ierlosung löst Abb. 1: Erscheinungsform der unterschiedlich préparierten Proben im Lichtmikrosko : i 
: p (v.o.lLn.ur.): lle Politur. 
len gesättigte Vibromet nach 15min, Elektrolytisch (nach 1pm), CSP-Graben ( Originalvergrößerung jeweils S000) manele Tot 
1spitzen rasch 
nur langsam; . 
entsteht eine 3 EBSD-Ergebnisse 
und 40% HF- An den so präparierten Proben wurden EBSD-Messungen (REM: JEOL 7000F, EBSD-Detektor: 
EDAX-TSL Digi View III, Software: OIM DataCollection/Analysis 5.2) an Flächen von 50um x 
150um mit einem Punktabstand von 100nm durchgeführt. Bei der FIB-Probe lag man damit schon 
risch leitende deutlich in dem Bereich mit extrem faltiger Oberfléchenstruktur (Curtaining-Effekt). 
bewegen sich Als ein Beispiel für die EBSD-Ergebnisse sind in Abb. 2 sogenannte Image Quality Maps 
gt der Abtrag dargestellt. An jedem Punkt im Messfeld wurde ein Beugungsbild aufgenommen, daraus der Image 
on Ende eine Quality Parameter (IQ) bestimmt, und schlieBlich als Graustufe im Bild dargestellt. Die Image 
ervorgerufenc Quality ist ein Maß für den Kontrast im aufgenommenen Beugungsbild. Je kontrastreicher das 
eugungsbild, umso ungestörter ist das lokale Kristallgitter. Der Parameter eignet sich damit sehr 
(Abb. 1), b) gut, um Korngrenzen abzubilden, aber auch um Phasen zu unterscheiden, die anhand der 
tionspolieren. Coenbreite und relativen Lage der Linien im Beugungsbild nicht direkt unterschieden werden 
en der Firma onnen. z.B. Ferrit und Martensit. 
e mit 15s, die 
vethoden.