6 Prakt. Met. Sonderband 41 (2009) 
die Schichtdicke s bestimmt werden. Da die Formel unübersichtlich ist, wird zumeist die Nährungs- 
formel s = x * y * f benutzt. Der Fehler gegenüber der genauen Formel wird mit <0,1% angegeben. 
Dabei ist x ist der Abstand zwischen dem inneren und äußeren Kreisdurchmesser der Kalotte, y die 
Summe aus x und d (Durchmesser des inneren Kreises der Kalotte) und f ist der Umrechnungsfak- 
tor (f= 1000/2 ° r ® V2), der den Radius r der Schleifkugel und die Vergrößerung V des Mikroskops 
berücksichtigt. Wichtig beim Vermessen der eingeschliffenen Kalotte ist, dass das Mikroskop ge- 
eicht ist. Dadurch werden zusätzliche Fehlerfaktoren durch eine fehlerhafte Angabe der Mikroskop- “Bewertung: R 
vergroBerung vermieden. Die Nährungsformel eignet sich besonders zur Schichtdickenermittlung deutliche Beet: 
von Schliffbildern zylindrischer Proben. 
Tabelle 1: Haft 
Weitere Parameter im Kalottenschliff sind die Kornfraktion der Diamantemulsion, die Schleifdauer, 
der Kippwinkel der Probe und die Umdrehungsgeschwindigkeit der Kugel. Über eine flexibel ju- 
stierbare Werkzeughalterung wird das Einspannen der Substrate in einem beliebigen Winkel zur 2.3 Scratchte 
Stahlkugel ermöglicht (s. Bild 4). Die Schleifzeit lässt sich in diskreten Schritten einstellen. Auch Der Ritztest 
die Probenrauigkeit ist ein entscheidender Parameter beim Kalottenschliff. Um gute Resultate si- Schicht-Substra 
cherzustellen, sollte die Oberflächenrauigkeit kleiner als ein Zehntel der Schichtdicke betragen. karbid oder Di 
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Bild 3: Kalottenschliffgerät und Versuchsaufbau 
Anhand des Schliffbildes der Kalotte kann die Haftfestigkeit bewertet werden. Kriterien sind hier ser 
Defekte am Schicht-Substratiibergang (Interfacebereich) bzw. am Schicht-Schichtiibergang. Tabelle =H 
1 zeigt die hierfür zugrunde liegenden Bewertungsmerkmale. 
Sample 
Bild 4: Prinzip 
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Bewertung: gut (1) Bewertung: ausreichend (2) N SCHERE 
ohne Befund geringe Beeinflussung sagen drückt Si 
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