12 Prakt. Met. Sonderband 41 (2009)
Profi moe Der kleine
Michael Pohl
Ruhr-Universität B
Bild 11: Rauheitsprofil 2 eines beschichteten Shims, Schicht DLC 3000
1 Kurzfas
Parametertabelle Paramstertabelle
— Profll=R.- Berich=[1] Mittelwert Profil=R - Bersich=[1] Mittelwert Wasserstoff kan
Ra (pr) | 0p3l 0,031 Ra (um) 0,032 0032 tallurgischen Pr
Rar (pr) | 0032, 0032 Rarrax (pm) 0,033 0033 lichkeitsabfalls
RzDIN (jm) 0264 0,264 ReDIN (ym) | 0375] 037s Zusammenhang
Rz (um 0232] 0232 Fz (i) 0,274 | 0274 stellen. Derartig
Bild 12: Rauhigkeitskennwerte des Profils 1 Bild 12: Rauhigkeitskennwerte des Profils 2 Hm Durchmesse
Fertigungs- und
Außer durch deı
4 Zusammenfassung zesse sowie dur
diffundiert und
Die Analysemethoden zeigen die hohen Anforderungen an die Qualitédtskontrolle im Produktionsall- auftritt.
tag der Dünnschichtabscheidung. Neben einer Grundcharakterisierung der Schichtsysteme durch
Kalottenschliff, Rockwell- und Scratchtests sowie einer REM-Untersuchung der Mikro- und Bruch-
struktur der Schichten gehören weiter führende Charakterisierungen zu den verwendeten Analyse- 2 Grundla
verfahren. Zu den häufigsten bei der CemeCon AG eingesetzten Methoden zählen hier die Energie-
dispersive (EDX) Röntgenspektroskopie zur Charakterisierung der chemischen Zusammensetzung, Wasserstoff. da
das Nanoindenter zur Bestimmung von Schichthirte und E-Modul und die Bestimmung der Ober- Period >
flichenrauigkeit und —topographie. eriodensystems
Masse, ist ein
Element, das in
organischen Ver
5 Literatur ist und das als
allgegenwärtig
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Institut fiir Oberflichentechnik der RWTH Aachen Rekombinationsi
