Der Substratwerkstoff war, ausgenommen Versuch 4, Stahl. Denn allge- 0 
mein kann vorab gesagt werden, daß ein "harter" Substratwerkstoff Ve 
einen sicheren Kugelrundlauf und somit einen auswertbaren Kalotten- ve 
schliff begünstigt. Duktile oder federnde Substrate wirken sich ab 
dagegen, unabhängig von der letztlich aufgebrachten Schicht, nachtei- ni 
lig im Sinne schlechter Auswertbarkeit aus. Auch das Arbeiten mit bei- 
spielsweise ölhaltigen Läppsuspensionen bringt hier nicht immer den Po 
gewünschten Erfolg. Das Bremsverhalten duktiler Substratwerkstoffe un 
beeinträchtigt beim Eindringen der Läppkugel in den Substratwerkstoff te 
den gleichmäßigen Kugelrundlauf. Es entstehen vielfach Rattermarken. na 
Das Läppbild wird in seiner Gleichmäßigkeit gestört und damit ein ru 
sicheres Vermessen des Schichtringes erschwert oder verhindert. Sicher gl 
zu handhabende Substratwerkstoffe sind eine Vielzahl von Metallen und 
verschiedene Keramiken. Ge 
Du 
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Versuchsreihe Po 
er 
GRUPPE 1 di 
Substratwerkstoff: Stahl 
Schichtwerkstoff: TiC/TiN, Tic, TiCN, TiN vi 
Drehzahl der Welle: 35 - 40 U/min 
Läppkörnung: Diamantsuspension 1/4 Mikron da 
(15, 9, 6, 3, 1 Mikron) 
Zeit: 5 min en 
Sc 
Mit den angegebenen Paramatern ließen sich die Schichtdicken der ra 
untersuchten PVD- und CVD- Schichten reproduzierbar darstellen und de 
ausmessen. Die Zeichnung von Kugelkalotte und jeweiligem Schichtring hi 
zeigte keine das Ergebnis beeinträchtigenden Verschmierungen und 
sonstigen Artefakte. Zumindest brachten Versuche einer nachträglichen 
Politur mit einer agglomeratfreien und 1 : 1 mit H20 dest. verdünnten 
420  Prakt. Met. Sonderbd. 26 (1995)