ble, ther den: Var: Querschnittspriparation fiir die Untersuchung von 
; bei angelassenen dünnen Schichten, Grenzflächen, Pulvern und Fasern im 
se. Ein generelles Transmissionselektronenmikroskop (TEM), Teil II 
Ätzmittelbestand- 
Fu-Yung Hsu und Hans-Joachim Klaar 
ei abgeschreckten Gemeinschaftslabor fiir Elektronenmikroskopie ( GFE ) der RWTH Aachen 
ıer ist zwar relativ D-52056 Aachen 
zusammensetzung 
Kurzfassung 
Eine neue Querschnittspräparation für die TEM-Untersuchung wurde entwickelt. Die Pro- 
ben mit dünnen Schichten und Grenzflächen wurden in ein Messingrohr eingebettet und 
danach getrennt und geschliffen. Die Präparate wurden weiter befestigt, mechanisch vor- 
hler Ybbstalwerke gedünnt und dann mit dem Ionenstrahl gedünnt. Mit einer kleinen Variante wird diese 
Methode auch erfolgreich für die Präparation von Pulvern und Fasern angewandt. Die 
Verfahren und Techniken werden dargestellt. Das Ergebnis wird anhand von Beispielen 
gezeigt. 
Abstract 
Cross Sectional Specimen Preparation for the Investigation of Thin Layers, Inter- 
faces, Powders and Fibres in the Transmission Electron Micoscope, Part II 
[.14 (1983) 140 
1.24 (1993) 151 A new cross sectional specimen preparation for TEM-investigation is developed. The 
specimen with thin layers and interfaces is embedded in a brass tube, then cut and ground. 
ure and’ The specimen is further strengthened, pre-thinned mechanically and then milled with an 
ion beam. This method is also modified for the preparation of powders and fibres success- 
fully. The process and technique are presented. The result is demonstrated based on 
examples. 
263 
1. Einleitung 
Zunehmend wird neben dem ein- oder beidseitigen elektrochemischen und physikalischen 
Diinnen die Querschnittspraparation fir TEM-Untersuchungen von Werkstoffen ange- 
wandt, da mit dieser Methode sowohl dünne Schichten als auch Grenzflichen analysiert 
und bis in den atomaren Bereich abgebildet werden können. 
Da die Querschnittspräparation normalerweise sehr zeit- und kostenaufwendig ist, wird 
fortwährend an der Entwicklung effektiverer Methoden gearbeitet. Deshalb wurde auch 
das 1992 auf der Metallographietagung in Dresden vorgestellte und inzwischen veröffent- 
lichte Präparationsverfahren [1] im GFE weiterentwickelt und verbessert, auch um neue 
Prakt. Met. Sonderbd. 26 (1995) 615 
ut