Werkstoffe untersuchen zu können, Der Ablauf der Präparation, wie die Vorbereitung der
Proben, die Probenfixierung, die mechanische Vordünnung und die spezifische Ionendün-
nung, werden dargestellt. Der Einsatz spezieller Techniken und Zusatzgeräte wird anhand
praktischer Ergebnisse diskutiert.
Es werden unterschiedliche Proben hergestellt und im Transmissionselektronenmikroskop ;
untersucht, z. B. Schichten in Kunststoffbändern (Videotapes), im Magnetfeld texturierte i
Magnetpulverteilchen, Schicht-Verbundwerkstoffe aus Metall und Intermetallischen Pha-
sen und Nanometerstrukturen von Halbleitern.
Die Untersuchungsergebnisse werden vorgestellt und diskutiert.
2. Priparationsverfahren
Der schematische Ablauf der Querschnittspriparation ist in Bild 1 wiedergegeben. Der
Präparationablauf wird in fünf Schritte eingeteilt. Mit kleinen Varianten gilt das Verfahren
auch für Pulver- und Faserproben. In der folgenden Beschreibung werden die einzelnen
Präparationsschritte ausführlich behandelt.
2.1 Probenvorbereitung .
Zur Probenvorbereitung ( Bild 1, Schritt 1 ) werden von den zu untersuchenden Materia- r
lien mit einer Diamanttrennmaschine Probenstreifen ( 1.5 bis 2 mm breit, max. 1 mm dick .
und 10 mm lang ) abgetrennt. Die beim Ausschneiden von zähen Materialien entstandenen ,
Grate werden mit einem Skalpell oder mit Schleifpapier vorsichtig entfernt, ohne die zu Ee
untersuchenden Schichten zu beschädigen, Dieses Verfahren gilt für die meisten kompak- ©
ten Materialien. Bei ferromagnetischen Proben ist darauf zu achten, daß die Streifen mög-
lichst diinn sind, d. h. der Anteil von ferromagnetischem Material minimiert ist, damit die
fertig gedünnte Probe nicht vom Magnetfeld der Objektivlinse aus dem Probenverbund in
das TEM hinausgerissen wird. Von Kunststoffbdndern, Folien u. ä. können mit einem
Messer oder einer Schere passende Stücke abgeschnitten werden. Von sehr sproden
Materialien, z. B. von Halbleitern, können die Probestücke z. B. durch Spalten mit. einem D
Skalpell gewonnen werden. %
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Von einem Messingrohr ( Außendurchmesser 3 mm, Innendurchmesser 2,5 mm ) werden tu
10 mm lange Stücke abgesägt. Das Füllmaterial, z. B. Siliziumscheiben von Wafern, wird si
in passende Stücke von rd. 2 x 10 mm vorbereitet. Im Prinzip müssen die Proben und das ai
Füllmaterial nach dem Zusammenkleben ( Bild 1, Schritt 2 ) mit möglichst engem Spalt in i
das Messingrohr eingesetzt werden können.
Die Probenstücke, das Messingrohr und das Füllmaterial müssen sehr sorgfältig mit Ace- Pr
ton, Alkohol, Meta Clean oder anderen Entfettungsmitteln, möglichst im Ultraschallbad, Be
gereinigt werden. Die Oberflächen müssen sehr sauber sein, um eine einwandfreie Haftung
des Klebers zu gewährleisten.
616 Prakt. Met. Sonderbd. 26 (1995)