157
lingt
Bild 3: Aufsicht auf den Chip und die Basis- und Emitteranschlüsse
nSi-
nen.
der
SiS
in
ete
räg
er-
tel-
en.
he-
Bild 4: Chip mit Angabe der Lagen von Schrägschliff 1 und 2
en Um voll in die beiden Bondstellen zu kommen und dabei die Schrägschlifflage 2 zu erreichen, wurde
ten die Probe gemäß Bild 4 weiter abgeschliffen. In Hellfeldbetrachtung ist das Ergebnis in Bild 6 festge-
ten halten. Man sieht auf Schrägschliff 2 unter dem Basisbond und dem Emitterbond den Silicium-Chip
des und den Sockel des Transistorgehäuses, auf dem der Chip aufgelötet ist. Es besteht aus normal-
ah- geglühten kohlenstoffarmen Stahl. In Bild 7 sind bei höherer Vergrößerung im nicht angeätzten
äg- Schrägschliff 2 deutlich Schichten auf dem Chip zu erkennen. Die Bonddrähte zun Emitter und zur
zu Basis bestehen laut EDX-Analyse aus Aluminium und sind einwandfrei augebondet, wie alle vorlie-
genden Untersuchungen zeigen.