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ADC
heES ESMA
Analysenbereich Analysenbereich
Al»O3 + ZnO here
nn 0,01 um ratıc
Bleiteilchen 7 ferti
S 0,5 um . . senk
Zinkschicht licht
Delta-Phase 7-20 um Ricl
<= TcHm- sprü
Fe‚Als-Phase Schi
0,02 um
—— Stahlblech Hier
che.
Bild 1: Aufbau der feuerverzinkten Schicht ima
Ca:
} Fehl
Generell gilt, daß für Beschichtungssysteme mit Schichtdicken > 1-2 um eine Mikrobereichsanalyse rech
der einzelnen Schichten problemlos an Querschliffen durchgeführt werden. Das laterale Auflö- von
sungsvermögen der in diesem Fall bevorzugt eingesetzten Elektronenstrahlmikrosonde (ESMA) ist
hinreichend klein, um eine Analyse durchzuführen. Liegt jedoch die Schichtdicke unter 1 um, so
reicht das laterale Auflösungsvermögen der ESMA und u.U. auch der Auger-Sonde (AES) nicht Kalc
aus, um die chemische Zusammensetzung der Schichten und deren Dicke zu ermitteln. In solchen Der
Anwendungsfällen kann durch verschiedene Schlifftechniken eine künstliche Verbreiterung der tion
Schichten und damit eine verbesserte analytische Zugänglichkeit erreicht werden. daß
am ]
dick
Schrägschliffe Lini
Bei der Schrägschlifftechnik wird die zu untersuchende Probe unter einem flachen Winkel von < 2°
eingebettet und nach herkömmlichen metallographischen Methoden geschliffen und poliert. Da-
durch wird, wie in Bild 2 veranschaulicht, eine Spreizung des Schichtbereichs in Richtung der Kip-
pung der Schlifffläche um den Faktor sin”! a (@ = Böschungswinkel) erreicht.
rn Br
Zn-Schicht BE
NN N
: Zwischenschicht
Stahlunterlage
Bild 2: Geometrische Verhältnisse beim Schrägschliff.
Für die am Schrägschliff beobachtete Schichtdicke d* gilt die Beziehung
d* =;d/sin:@.: Bei
Werden scheinbare Schichtdicke d* und der Böschungswinkel & gemessen, kann die Dicke d der Schle
Zwischenschicht anhand der Beziehung abhä
rand