REM- und TEM-Untersuchung der beim Lasermikrobohren 
in Silizium entstehenden Werkstoffschädigungen 
J. Kaspar, A. Luft, Fraunhofer-Institut für Werkstoffphysik 
und Schichttechnologie, Dresden 
Transmissionselektronenmikroskopische Studie polymorpher 
Kohlenstoff-Übergangsphasen 
H.-D. Steffens, B. Reznik, T. Duda, Universität Dortmund 
TEM-Zielpräparation im REM 
A. Klein, W. Pittroff, Ferdinand-Braun-Institut für 
Höchstfrequenztechnik, Berlin; I. Urban, Bundes- 
anstalt für Materialforschung und -prüfung, Berlin 
IX. Quantitative Analyse 
Variation und Charakterisierung von Erna gen 
CO. DO P. Neuhäusel, H.E. Exner, Technische 
Hochschule Darmstadt 
Neue stereologische Methoden der Werkstoffanalyse 
J. Ohser, M. Nippe, V. Tympel, Technische Universität 
Bergakademie Freiberg; U. Sonntag, IMTRONIC GmbH, 
Systemhaus für Bildverarbeitung, Berlin ' 
Quantitative ES von Siliciumnitrid-Keramiken 
mit submikrokristallinen SE Enge 
P. Obenaus, M. Herrmann, H. Klemm, Fraunhofer-Institut 
für Keramische Technologien und Sinterwerkstoffe, Dresden 7 
Quantitative BES des Sense ng race des 
stabilisierten, nichtrostenden austenitischen Stahls 1.4541 
S. Zimmermann, G. Maussner, Siemens AG, Erlangen =_ 
Erfassung der Dispersionsgefügebildung mittels Raster- 
elektronenmikroskopie 
H. Hildebrand, G. Heinzel, Technische Universität 
Bergakademie Freiberg 
373 
381 
389 
399 
407? 
44 S 
42) 
4323