a
3.2 Schichtdickenbestimmung In ei
3.2.1 Schrägschliff verme
Die Schichtdicke kann anhand eines metallographischen Schrägschliffs bestimmt werden. Dazu errech
wird die beschichtete Probe unter einem definierten Keilwinkel @ eingebettet und anschließend ein
metallographischer Schliff hergestellt. Wie in Abb. 4 dargestellt, wird im Auflichtmikroskop die zu T=r
vermessende Strecke L sichtbar. Aus dem geometrischen Verhältnis errechnet sich die Schichtdicke
gemäß Gl.1. fr
d=L>xsina (Gl. 1) Diez
metallographische Schliffebene
an h=T
a. LO Ti a
fl Schicht
"Stege
Abb. 4: Schichtdickenbestimmung am metallographischen Schrägschliff
Abb.
3.2.2 Kalottenschliff
Bei der Kalottenschleifmaschine handelt es sich um eine Eigenkonstruktion /3/, die im wesentlichen
aus den folgenden, in Abb. 5 dargestellten, Komponenten aufgebaut ist. Der Elektromotor (1) mit 3,3 MI
der Antriebswelle und den konischen Führungen (2) treibt die Si,‚N,-Kugel (3) an. Gegenüber der Um d
Kugel befindet sich die Probe (4) im Probenhalter (5). Mit Hilfe einer Tropfflasche (6) wird eine auch
Diamantsuspension der Fa. Testa mit der Korngröße 3 um als abrasives Medium zugeführt. Umdr
Aufgrund der Rotationsbewegung schleift die Kugel eine Kalotte in die Schicht und in den 7 der
Substratwerkstoff . Tribos
(1) Elektromotor Kı="
(2) Antriebswelle mit den konischen Führungen undd
(3) Si.N,-Kugel
Ku =
(4) Probe
(5) Probenhalter
4 Erg
(6) Tropfflasche 4.15
Die E
angeg
Messı
Abb. 5: Makroaufnahme des Kalottenschleifmaschine
17.