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__ Substrat PVD-Technik 3 um 6 um ! 12 um
X 20 CrMoV 12 1 Arc 3.225 0,13 6,51 +0,17 ) 12,24 + 0,70
Magnetron-Sputter 2,46 570,22 70 5821033 4 3,4240,34
S 6-5-2 Arc 3,53 + 0,08 5,4440,16 | “11.960,80
Magnetron-Sputter 3,35 50,228 I 6.25%0288 SE 7,85 70.25
MD Arc EEE DER
Magnetron-Sputter,.. 1,86: 0,17. ‚4270,21 & 7,47 + 0,34
Abb. 7: Ergebnisse der Schichtdickenbestimmung mit Hilfe des Kalottenschliffs Abb
Die gemessenen Schichtdicken stimmen mit den nominellen Schichtdicken relativ gut überein. Eine
Ausnahme bilden die 12 um Magnetron-Sputter-Schichten. Hier wurden die angegebenen
Schichtdicken deutlich unterschritten. Die angegebenen Standardabweichungen zeigen, daß mit 42 Vi
diesem Verfahren die Schichtdicke mit hoher Genauigkeit bei geringem Arbeitsaufwand ermittelt Mit
werden kann. Die relativen Abweichungen zu den Mittelwerten liegen im Schnitt bei 5 %. Bei Verse
einem Vergleich von Kalottenschliff und Schrägschliff (Abb. 8), weicht die errechnete Schichtdicke Mersc
vom Schrägschliff von der nominellen Schichtdicke ab. Dies ist auf die Präparationsungenauigkeit der S
hinsichtlich eines definierten Keilwinkels zurückzuführen. Schic]
"Schi
PVD-Arc-Schicht auf angegebene gemessene Länge errechnete
einem warmfesten Stahl Schichtdicke bzw. Durchmesser Schichtdicke
Schrägschliff 12 um L=61,49 um 15,91 um
Kalottenschliff 12 um d = 0,609 mm 12,24 um
D = 1,283 mm
Abb. 8: Bestimmung der Schichtdicke
Das typische Aussehen eines Schliffbildes gibt Abb. 9 wieder. An der Schleifkugel wurde während
der gesamten Versuchsreihen kein signifikanter Materialabtrag festgestellt. Anhand der
geschliffenen Kalotten konnte auch die Haftfestigkeit der TiN-Schicht auf dem Grundwerkstoff
beurteilt werden. Die PVD-Magnetron-Sputter-Schicht weist bei gleichem Substratwerkstoff (X 20
CrMoV 12 1) eine geringere Haftfestigkeit auf als die PVD-Arc-Schicht (Abb. 10). Diese Tendenz
zeigte sich auch bei Kavitationsversuchen /5/
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Abb.
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Abb. 9: REM-Bild eines Kalottenschliffes
