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‚ben Bild 1: REM-Aufnahme eines Längsschnittes durch eine etwa 120 um tiefe Bohrung, die mit der 
srial niedrigeren Pulsenergie (Q = 0,1 mJ) erzeugt wurde. Die Ausschnittsvergrößerung ver- 
des deutlicht das wellenartige Austreiben des geschmolzenen Materials. Der Lochlängsschnitt 
ind wurde durch Brechen der Probe erhalten. 
des 
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rgie durchmessers gelegenen Lochabschnittes stammt. Man erkennt Risse in radialer und peripherer 
Anordnung im Lochrandbereich und eine Anlagerungschicht unterschiedlicher Dicke. Die regellose 
Materialanlagerung an der Bohrlochwand führt zu beträchtlichen Abweichungen von der 
ursprünglich kreisrunden Form des Bohrloches. Die Ätzung bringt den schichtweisen Aufbau der 
isch Materialablagerungen deutlich hervor. Bis zu einer Entfernung von 5 um vom Bohrlochrand ist eine 
tige hohe Dichte von Atzgrübchen zu erkennen. Die Reichweite der radialen Risse korreliert mit der 
cter Dicke der Anlagerungsschicht. Besonders wichtig für das Verständnis der Ursachen der Rißbildung 
ren ist der Befund, daß vom Lochrand ausgehende radiale Risse manchmal ihren Verlauf ändern und in 
daß peripherer Richtung weiterlaufen. Diese charakteristische Anordnung radialer und peripherer Risse, 
lem die beim Bohren von Silizium mit höherer Pulswiederholfrequenz noch viel deutlicher zu beobachten 
Mit ist (2, 3), resultiert aus den thermischen Zugspannungen in tangentialen und radialen Richtungen am 
der Lochrand, die beim Abkühlen des lokal erwärmten Randbereiches entstehen (6). 
Die TEM-Untersuchung dieser Lochrandbereiche liefert zusätzliche Erkenntnisse über den 
ZU: kristallinen Charakter der Ablagerungen und die Natur der erzeugten Kristalldefekte. Die Abb. 3 
sch zeigt typische TEM-Aufnahmen aus dem Lochrandbereich 30 um unterhalb der Waferoberseite. Sehr 
den deutlich erkennt man die schichtweise Materialablagerung, wobei die einzelnen Schichten etwa 
der 0,5 um dick sind. Aus Elektronenbeugungsdiagrammen geht hervor, daß das zuletzt angelagerte 
Material polykristallinen Charakter aufweist und nicht - wie bei extrem hoher Abkühlgeschwindigkeit 
zu erwarten wäre - im amorphen Zustand vorliegt. Die darunterliegenden, früher abgelagerten