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Bild 2: REM-Aufnahmen eines mit SIRTL-Ätzung behandelten Lochquerschliffes. Die Quer- 
schnittsebene liegt 30 1m unterhalb der Probenoberseite; Lochtiefe 120 um. 
5 um 
Bild 3: TEM-Aufnahmen der laserbeeinflußten Randzone einer Laserbohrung. Die Querschnitts- 
ebene liegt 30 um unterhalb der Pobenoberseite: Lochtiefe 120 um.