Parameter minimaler Feretdurchmesser (6) als Maß zur Charakterisierung der Kristallitgröße. 
40 — 
mittiere Kristallitgröße 150 nm 
( anzahlgewichtet ) 
30 
e NEUE Lo a 
0.04 0.07 0.1 0.2 0A 0.7 1.0 
Kristallitgröße In jum (min. Feret) 
Bild 5: REM-Aufnahme, rekonstruiertes Computerbild und Größenverteilung der Si3N4-Kristallite 
in einer SICN-Keramik 
Die intrakristallinen SiC-Einlagerungen können ebenfalls über eine interaktive Rekonstruktion an 
einer schwach plasmageätzten Keramik ausgewertet werden. Bild 6 zeigt die REM-Aufnahme, das 
Cumputerbild sowie die ermittelte Kristallitgrößenverteilung. Für die SiC-Partikel wurde auch der 
minimale Feret gemessen, um mit den Siz3N4-Auswertungen vergleichbare Ergebnisse zu erhalten. 
mittlere Kristaliitgröße 69 nm 
( anzahlgewichtet ) 
0— ' v 4 T T a 
0.04 0.07 0.1 0.2 0.4 0.7 1.0 
Kristaliitgröße In jum (min. Feret) 
Bild 6: REM-Aufnahme, rekonstruiertes Computerbild und Größenverteilung intragranularer 
SiC-Kristallite in einer SICN-Keramik 
Zur quantitativen Auswertung der intergranularen SiC-Kristallite ist die stärkere Plasmaätzung er- 
forderlich, um die Korngrenzen zwischen den SiC-Partikeln sichtbar zu machen (Bild 7). Auch hier 
ist mit der interaktiven Rekonstruktion der Partikel eine Computerauswertung der Kristallitgröße 
möglich (Bild 7) 
5 mittlere Kristallitgröße 170 nm 
_ ( anzahlaewichtet ) 
3 10-7 
5 
OT 
N 0.04 0.07 0.1“ "02 04 07 10 
Kristallitgröße In jım (min. Feret) 
Bild 7: REM-Aufnahme, rekonstruiertes Computerbild und Größenverteilung intergranularer 
SiC-Kristallite in einer SICN-Keramik 
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