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Die rekonstruierten Computerbilder ermöglichen neben der Messung der verschiedensten Größenpa- 
rameter auch die Flächenmessung jedes einzelnen Partikels. Damit können in erster Näherung (Iso- 
tropie der Teilchen vorausgesetzt) die Volumenanteile der einzelnen Kristallitgrößenklassen und der 
 oha unterschiedlichen Phasen innerhalb der Werkstoffe bestimmt werden. Die Ergebnisse einer solchen 
ahtet) Auswertung zeigt Bild 8 für zwei unterschiedliche SICN-Keramiken. Die flächengewichteten Häu- 
figkeitsverteilungen zeigen, daß der überwiegende Teil der SiC-Partikel intergranular vorliegt und 
nur gringfügig kleinere Kristallitgrößen gegenüber der Si3N1-Matrix besitzt. Nur sehr wenige SiC- 
Kristallite ca. 1-2 % befinden sich innerhalb der Siliciumnitridkristallite (intragranular). Dies ist 
übewiegend ein Feinanteil mit Kristallitgrößen < 100 nm. 
Die SiCN-Mikrokompositwerkstoffe besitzen infolge des komplexen Gefügeaufbaus ein gegenüber 
zn reinem Si3N4 verändertes Eigenschaftsniveau. Insbesondere durch den interkristallinen Einbau der 
et) SiC-Partikel kommt es zu einer morphologischen und chemischen Modifikation der Mikrostruktur 
ite der Siliciumnitridmatrix, was für das Hochtemperaturverhalten dieser Werkstoffe vorteilhaft ist. Die 
in diesem Beitrag vorgestellten Methoden und Ergebnisse zur Analyse der Mikrostruktur liefern eine 
Grundläge zum Verständnis der Gefüge-Eigenschaftskorrelationen und helfen bei der Interpretation 
des Verhaltens der SICN-Mikrokompositwerstoffe bei hohen Temperaturen, deren Entwicklung 
das derzeitig noch am Anfang steht. 
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EI- Bild 8: Flächengewichtete Häufigkeitsverteilungen der Kristallitgrößen für die 
aD unterschiedlichen Phasen in zwei SICN-Keramiken 
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70 nm} Zusammenfassung 
Für Si3N4 / SiC - Kompositwerkstoffe werden zur Bestimmung der Kristallitgröße der Silicium- 
nitridphase als auch der SiC-Einlagerungen weiterentwickelte Methoden vorgestellt. Ausgegeangen 
wird dabei von unterschiedlichen Ätzverfahren zur Gefügedarstellung. Durch Optimierung der plas- 
machemischen Ätzung ist es möglich sowohl die Siliciumnitrid- als auch die Siliciumcarbidkristal- 
lite sichtbar zu machen. Mit Hilfe interaktiver Bildauswerteverfahren können die Kristallitgröße, der 
Streckgrad, die Kristallitfläche und -form der unterschiedlichen Phasen ausgewertet werden. Außer- 
Fan dem wird zwischen inter- sowie intragranularen Auscheidungen unterschieden und näherungsweise 
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top) deren Volumenanteile in den einzelnen Größenklassen bestimmt.