160 Prakt. Met. Sonderband 30 (1999)
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Abb. 6: Uberhéhtes und nicht iiberhohtes Tastschnittprofil einer kugelgestrahlten Oberfläche
Um eine Beschädigung der Oberfläche zu vermeiden, muß die Spitze des Tasters abgerundet wer-
den (Radius = 3-5um). Der Offnungswinkel der Spitze darf nicht kleiner als 60° — 90° sein, da der
Diamant sonst an scharfen Kanten nicht abgleiten kann. Durch die sich daraus ergebende Form der
Spitze können nur flache Vertiefungen richtig ertastet werden. Schmale und tiefe Oberflächenfeh-
ler, deren Kerbwirkung wesentlich größer ist, werden nicht oder falsch erfaßt (Abb. 7).
Diamantspitze
witklichés Oberflachenprofil
Abb. 7: Verfälschte Aufzeichnung des Oberflichenprofils aufgrund der Geometrie der Tastspitze
Fokusdetektorverfahren
Das Oberfliachenprofil kann auch optisch, durch das Fokusieren eines Laserstrahls auf die Metall-
oberfliche, abgetastet werden. Dabei ist es méglich, die ,,Tastspitze® sehr spitzwinkelig und klein
zu gestalten. Der Fokus wird durch Verschieben der Optik immer genau an der Metalloberfliche
positioniert. An sehr steilen Flanken ist dies jedoch kaum möglich. Es treten daher Überschwing-
effekte auf, die das aufgenommene Profil verfilschen /3/.
Stereoskopische Bildauswertung
Die Tiefe von Oberflichenfehlern 148t sich im Rasterelektronenmikroskop durch das stereoskopi-
sche Auswerten zweier Bilder, die mit unterschiedlichem Kippwinkel aufgenommen wurden, er-
mitteln. Dabei wird aus der durch das Kippen der Probe verursachten horizontalen Verschiebung
markanter Punkte die Vertikalverschiebung zu einem Bezugspunkt berechnet und der Oberfliachen-
fehler räumlich dargestellt /4/ (Abb. 8).
Der dünne Elektronenstrahl kann auch in sehr schmale Vertiefungen eindringen. Durch Abschat-
tungseffekte werden tiefere Spalten jedoch sehr dunkel abgebildet. Durch den schwachen Kontrast
an solchen Stellen ist es nicht möglich, markante Punkte in den beiden Aufnahmen zu finden und
die Tiefe des Oberflächenfehlers zu ermitteln.
