Prakt. Met. Sonderband 30 (1999) 167
2.2 Quantifizierung des Ausscheidungszustandes mittels EFTEM
Das Energiefilter GIF (Gatan Imaging Filter, (6)), welches an jedes moderne TEM angeschlossen
werden kann, gestattet es, aus dem Energiespektrum der unelastisch gestreuten Elektronen, die die
Probe durchquert haben, einen wählbaren Energiebereich mittels eines Spaltes herauszugreifen und
die Elektronen aus diesem Energiefenster zur Bildentstehung heranzuziehen. Dadurch können bei
der TEM — Abbildung erhebliche Kontraststeigerungen erzielt werden. Ein ganz besonderer
Fortschritt bei Werkstoffuntersuchungen ist es jedoch, daß mit diesem Energiefilter die
zweidimensionale Verteilung der chemischen Elemente in kleinen Probenbereichen mit hoher
Auflösung (ca. 2 nm) wiedergegeben werden kann (5, 7, 8, 9).
Ein Beispiel einer EFTEM - Aufnahme einer 994 h bei 600°C ausgelagerten Probe zeigt Bild 3.
Neben dem bekannten Hellfeldbild sind die Fe-Verteilung, die Cr-Verteilung, die Mo-Verteilung
sowie die V-Verteilung enthalten. Helle Bereiche sind reich am jeweiligen Element. Da es sich bei
den Elementverteilungsbildern um kein durch optische Effekte entstandenes Bild sondern um eine
Auswertung des jeweiligen Energieverlustspektrums handelt, sind kohärente Teilchen ebenso
sichtbar wie inkohärente. Man erhält also das tatsächliche Bild des Ausscheidungszustandes.
Unterscheiden sich nun die unterschiedlichen Teilchenpopulationen deutlich in ihrer chemischen
Zusammensetzung, wie im gegenstdndlichen Fall durch den Cr-Gehalt der M»3Cq-Karbide, den Mo-
Te bzw. W-Gehalt der Laves Phase oder den V-Gehalt der VN, so gibt eine bildanalytische
Auswertung des jeweiligen Elementverteilungsbildes auch Aufschluß über die Größenverteilung der
jeweiligen Teilchenpopulation.
TEM-Hellfeld ' Fe-Verteilung 'Cr-Verteilung
Ad Ma-Vertejlune Verteilyne
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Bild 3: Beispiel einer EFTEM-Untersuchung einer Probe aus G-X12CrMoWN-10-1-1 nach 996 h
Auslagerung bei 600°C
