Prakt. Met. Sonderband 30 (1999) 299 
> Bh Zusammenfassung 
” Durch systematische Kippexperimente und EBSD-Messungen wurde an Silberproben mit Kérnern 
nd bekannter Orientierung die Orientierungsabhéngigkeit der Grauwerte im fokussierten Ionen- 
A % strahlmikroskop bestimmt, um die Möglichkeit der ortsaufgelösten Orientierungsmessung zu 
I diskutieren. Der Kontrast der FIB-Abbildung beruht auf der Kristallorientierungsabhingigkeit der 
Vie N ho Sekundarelektronenausbeute. Eine eindeutige Bestimmung der Orientierung mit Hilfe des. 
12 i Grauwertes ist nur in besonderen Fillen moglich. Im Fall von starken {001} und {111} 
0. ' Ki Fasertexturen in kubisch flichenzentierten Metallen lassen sich die Orientierungen aufgrund ihrer 
scheinen eindeutig unterscheidbaren Grauwerte identifizieren. Eine schnelle ortsaufgelöste Orientierung- 
} mt tiem sanalyse im FIB ist somit möglich. Vorteile der orientierungsaufgelosten Abbildung mit dem FIB 
en” ([-34], sind die gute Ortsauflosung (eine Grofenordnung besser als EBSD) sowie die hohe Zeitersparnis 
+ bz) ut (um mehrere GroBenordnungen schneller als EBSD). . 
mentlerungen 
fie ist, um so 
bezüglich der 
‚eindeutig das] Literatur, 
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nur wenige (1) Randle, V.: The measurement of grain boundary geometry, Inst. of Physics Bristol, S.17 
ster Einfall (2) Keller, R:-M.; Baker, S. P. und Arzt, E.: J. Mater. Res., 13(5), (1998), S. 1307 . _. 5 
5. (3) Orloff, J.: Rev. Sci. Instrum., 64(5), (1965), S. 1105 nn a 
ad. sind die (4) Lindhard, J.: Mat. Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk., 34, No. 14, (1993) ~~ 
ny Electron (5) Barr, D. L. und Brown, W. L.: J. Vac. Sci. Technol., B 13(6), (1995), S. 2580 
arch er (6) Dingley, D. J. und Randle V.: J. Mat. Sci., 27, (1992), S. 4545 ~~ 
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