304 Prakt. Met. Sonderband 30 (1999) 
magnetische und strukturelle Homogenität dünner Ferromagneten 
Für den Einsatz weichmagnetischer Schichten in Schreib/Leseköpfen wird eine möglichst 
homogene Schichtcharakteristik angestrebt. Eine deutliche lokale Variation der weichmagnetischen 
Eigenschaften wie z. B. der Koerzitivfeldstärke ist deshalb unerwünscht. Die lokale Verteilung der 
mit dem Barkhausenrausch-Mikroskop ermittelten Prüfgröße Hcm ist deshalb eine wichtige 
Information für die Anwendung und Optimierung weichmagnetischer Schichtsysteme. Die an 
getemperten und ungetemperten Schichten durchgeführten Messungen belegen deshalb eindeutig, 
daß sich mit dem BEMI die lokale Variation weichmagnetischer Eigenschaften schnell und 
zerstörungsfrei nachweisen läßt. Als Beispiel ist in Bild 5a der Hey-Flächenscan einer magnetischen 
Doppelschicht (NiFe/NiFeX) mit einer nichtmagnetischen Zwischenschicht dargestellt. Zum 
Vergleich zeigt Bild 5b von IBM ermittelte Hc-Werte tiber dem gleichen Scanbereich (5x5 
MeBpunkte). Man erkennt eine gute qualitative Übereinstimmung. 
a) b) 
3.5¢ 
Hew [A/cm] 
1.6 
22 N 
i & 
= 
y [mm] 2 
~ 1mm 
Bild 5: Flichenscans iiber NiFe/NiFeX-Mehrschichtsystem a) Hey-Scan mit dem BEMI 
b) Ho-Scan mit Kerr BH-Looper 
Schichtmorphologie und Textur weichmagnetischer Schichten lassen sich durch Anderung der 
Aufwachsbedingungen deutlich beeinflussen. Eine Möglichkeit der Manipulation ist die 
Beschichtung der verwendeten Substrate mit einer funktionellen Schicht von wenigen Nanometern. 
Koerzitv-feldstärke, Permeabilität und intrinsische Spannungen lassen sich damit in einem weiten 
Bereich einstellen. Bild 6 zeigt REM-Aufnahmen des Bruchquerschnittes einer Sendust-Schicht, die 
auf einem mit einer metallischen Schicht bzw. mit einem Dielektrikum bekeimten Keramiksubstrat 
gewachsen ist. Die Aufnahmen zeigen deutliche Unterschiede in der Schichtmorphologie sowie in 
der Kompaktheit des Schichtaufbaus. Röntgenuntersuchungen zeigen klar eine Änderung in der 
Textur der entsprechenden weichmagnetischen Schicht bei Variation der funktionellen 
Zwischenschicht. Mechanische und magnetische Kenngrößen dünner weichmagnetischer Schichten 
lassen sich durch entsprechende funktionelle Schichten in einem weiten Bereich einstellen.