nt 3. Ergebnisse und Diskussion
F Mit einem Zweistrahlinterferenzaufbau wurde eine Polystyrolprobe mit einer eingestrahlten
‘6 Energiedichte ¢ von 280 mJ/cm? mit einem Puls belichtet und die daraus resultierende Topographie
weisslichtinterferometrisch vermessen. Bild 4 zeigt ein typisches Ergebnis. Die Abmessung der
; gemessenen Fläche ist 78 x 58 um”. Deutlich sind die induzierten Linienstrukturen zu erkennen.
Mit einem Profil-Plot (Bild 5) läßt sich eine Periode bzw. ein Linienabstand von 2,8 um bestimmen.
Mit einem einfachen Profil-Plot kann jedoch die Tiefe der Strukturen t; nur lokal und linienförmig
1 bestimmt werden. Eine Ermittlung einer mittleren Strukturtiefe über die gesamte gemessene
Sn Substratfläche würde zu statistisch aussagekräftigeren Werten führen als die Bestimmung mittels
t Profilanalyse. Dies ist mit der Zygo-Softwareapplikation "Histogramm-Plot" möglich. Dieser ist in
ı Bild 6 für die gemessenen Höhenwerte von Bild 4 dargestellt.
Bild 4: Datenma..
ie Wellenlänge
arhalb gewisser
Dolystyrolproben
3 mm mit dem Bild 5: Profil-Plo:
am Luft ohne
ages von PS im
Photonenenergie
em’). Eine gue
m Weisslicht-
oskopieverfahren
en werden. Die
terale Auflösung
Bild 6: Histogramm-Plot
Der Histogramm-Plot gibt dabei die Verteilung der gemessenen Topographiewerte an. Die Abszisse
stellt die ermittelten Oberflächentopographiewerte (Höhenskala) dar, wobei die Ordinate die
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