Häufigkeiten dieser Werte in "Counts" angibt. Somit läßt sich ermitteln, wie oft ein bestimmter von 1% 
Höhenwert in der gesamten Datenmatrix vorkommt. Bei einem Oberflächenmuster aus periodischen bes 
Griben bilden sich demgemiB zwei gaussformige Verteilungskurven aus, wobei die linke den Mit SEI 
Grabengrund und die rechte die Spitze der Linienstrukturen repräsentiert. Der Abstand der beiden “ 
Maxima dieser bimodalen Verteilung ist die mittlere Strukturtiefe 7. In Bild 6 wurde 7, zu 2,20 um ) 
bestimmt. Dies fiithrt zu einem Aspektverhiltnis (Strukturtiefe/Breite) der induzierten Linien- 
strukturen von ca. 1,9. Der Fiillfaktor der erzeugten Struktur (Strukturbreite/Periode) liegt bei 0,41. re. 
Mit dem Histogramm-Plot konnen jedoch auch Aussagen über die Qualitit der Linienstruktur 
gemacht werden. Je ausgeprägter und schmaler die beiden Gaussverteilungen sind, desto 
homogener und regelmiBiger sind die Strukturen bzw. deren Tiefenverteilung. 
Bild 7: 1 Puls (,=46 nm) 
Bild 10 
Bild 8: 6 Pulse (f,=160 nm) 
4. Se: 
Mit } 
quantit 
untersı 
ermitte 
verschi 
(Fs 
Mikıos 
Optimie 
_ arms 
Bild 9: 15 Pulse (£,=320 nm 
Mit dem Histogramm-Plot kann auch die Strukturtiefenentwicklung verfolgt werden ( Bild 7-9). 
Dabei wurde ein PS-Substrat mit verschiedenen Pulsanzahlen bei einer konstanten Energiedichte 
148