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ws Sime von 120 mJ/cm® mit einem Zweistrahlaufbau belichtet und die mittlere Strukturtiefe der Linien 
; on hey bestimmt. 
nd i den Mit steigender Pulsanzahl bildet sich aus der anfänglich monomodalen Verteilungskurve, welche 
Kr 7 beiden die unbehandelte Probenoberfläche repräsentiert, allmählich eine bimodale Verteilung der 
ally Höhenwerte aus. Die Strukturtiefe vergrößert sich und die beiden Maxima entfernen sich mit der 
RT Linien- Pulsanzahl mehr und mehr voneinander. Somit kann eine statistisch fundierte Aussage über die sich 
) Negt bei 041. mit der Pulsanzahl verstärkenden Topographieänderungen gemacht werden. Die daraus 
t Linienstruktur gewonnenen Werte der Strukturtiefe sind in Bild 10 dargestellt. 
© Sind, desto 
DS 
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$ 120 mJ/cm2 
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Pulsanzahl 
Bild 10: Abhängigkeit der mittleren Strukturtiefe von der Pulsanzahl bei konstanter Energiedichte 
4. Schlussfolgerung 
Mit Hilfe der Weisslichtinterferometrie konnten periodische Oberflächenstrukturen sowohl 
quantitativ (Strukturtiefe, Periodizität) als auch qualitativ (Strukturaussehen, Homogenität) 
untersucht werden. Der Histogramm-Plot erlaubt dabei eine statistische Auswertung aller 
ermittelten Höhenwerte der induzierten Substrattopographie. Somit ist es möglich, bei 
verschiedenen Laserparametereinstellungen (Energiedichte, Pulsanzahl) und 
Überlagerungsgeometrien die sich einstellende Tiefe _laserinterferometrisch induzierter 
Mikrostrukturen sowie deren Periodizität zu bestimmen. Dadurch können Prozeßparameter 
optimiert werden, um Mikrostrukturen definierter Dimensionierung herzustellen und deren 
Geometrie zu steuern. 
den | Bild 1-9). 
 Energiedichte 
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