245 nm. Bild 7 ist mit niedriger Ätzspannung und langer Zeit und Bild 8 mit hoher Ätzspannung
und mittlerer Zeit entstanden. Aus dem Material werden Mulden herausgeschlagen, bevorzugt an
Poren und vielleicht an Bereichen mit hohen Fehlstellen, die sich mit zunehmender Zeit und vor
allem zunehmender Ätzspannung vertiefen. Es werden sicher hohe mechanische Spannungen
aufgebaut, da sogar Oberflächenrisse (Bild 8) entstehen. Bild 9 ist eine Aufnahme des realen
thermisch angeätzten Gefüges. Bild 10 zeigt die Probe ionenbestrahlt mit 5kV und anschließend
thermisch geätzt.. Hier wollte man an der Anordnung der Artefakte bevorzugte Angriffspunkte
erkennen. Diese scheinen jedoch willkürlich zu entstehen und nicht an Korngrenzen oder
Kleinkornbereiche gebunden zu sein.
Bild 6: ALOs, rein. Links poliert, rechts geätzt mit SkV, 50 min.
Abtrag 245 nm, gemessen am AFM
ag findet nicht
da
poe 3
red $00 . .
7 Bild 7: 3 kV-130 min, senkrecht beschossen
197