Zirkoniumdioxid : 
Senkrechter und schriager Abtrag 
Als positives Beispiel wird in der Literatur die Qualität hervorgehoben, die beim lonenstzen von 
PSZ erreicht wird. Auch in unseren Versuchen ist es das einzige Material, das positive Ergebnisse 
zeigt. Bild 16 zeigt eine gute Atzung, erreicht mit 5kV, 1.0 mA, 30 min, 90°. 
#41 
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Bild 16: ZrO, (PSZ), bei SkV/ 1.0 mA/ 30 min/ 90° geätzt 
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Bild 17: ZrO,, bei SKV, 2.5 mA, 60min, 90° überätzt 
In Bild 17 bei 5kV, 2.5 mA, 60 min, 90° sieht die Oberfläche deutlich überätzt aus. In Bild 18 ist 
bei den gleichen Bedingungen wie in Bild 17 unter einem Winkel von 15° beschossen worden, was 
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