einen deutlichen schrägen Abtrag ergibt. Die Oberfläche wird zwar nicht so stark abgetragen wie 
beim senkrechten Beschuß, aber durch den Winkel verfälscht. 
- Onendtzen yop 
VG Ergebnisse 
Bild 18: gleiches Material und gleiche Bedingungen wie Bild 17, aber Beschuß unter 15° 
Von den Zirkonoxidkeramiken wurden die Qualitäten CSZ und TZP nicht untersucht 
Zusammenfassung 
An den Hochleistungskeramiken Al,‚O;, SiC, Siz3N4, ZrO, und Mischkeramiken wurde mittels 
Ionenstrahl-Beschuß Ätzversuche durchgeführt. Dabei kamen zwei kommerzielle Geräte der Fa. 
Gatan und Fa. Balzers zum Einsatz. Angestrebt wurde eine Korngrenzenätzung an den vorwiegend 
einphasigen Materialien. Variiert wurden die Werkstoffqualitäten (z.B. Aluminiumoxid reinst und 
Aluminiumoxid mit Korngrenzenphase) und die Arbeitsparameter Beschleunigungsspannung, Zeit 
und Einfallswinkel. 
Es konnte bei keinem Material ein auch nur annähernd brauchbares Gefügebild mit deutlichen 
Korngrenzen erhalten werden. Die einzige Ausnahme ist teilstabilisiertes ZrO,, wie es schon in der 
Literatur angegeben ist. 
Bei „milden“ Bedingungen (z.B. 2kV, 10 min, 45° wird die Oberfläche gesäubert und feine Kratzer 
abgetragen. Bevor es jedoch zu einem kornorientiertem Abtrag kommt, beginnt die Zerstörung der 
Oberfläche. Die Zerstörung scheint sich nicht an Gefügephänomene zu halten (Korngrenzen, 
Kleinkornbereiche). Die Oberflächenzerstörung hängt möglicherweise damit zusammen, dass sich 
unter dem Ionenbeschuß eine dünne Oberflächenschicht selektiv erhitzt, thermisch ausdehnt und 
wegen der Sprödigkeit muschelartig abplatzt. PSZ hat mit Abstand die höchste Bruchzähigkeit 
unter den untersuchten Materialien, relativ niedrige Härte und deswegen wahrscheinlich die beste 
Thermoschockbeständigkeit, was das günstige Verhalten erklären würde. 
yus. In Bild 18 ist 
con worden. WAS 
203