d zum backscattering diffraction) in einem REM ermittelt werden. Die Grenze für die Anwendung dieses 
Verfahrens liegt bei Körnern mit einer Dimension von ca. 30 nm. Die Korngröße und die 
kristallographische Orientierung kleinerer Körner kann über die Auswertung von Elektronen- 
beugungsbildern im TEM erfolgen. 
: Korngrößenmessung einschließlich 
; Zwillingskorngrenzen 
sbild 
7 
kt sowie ’ KorngrofRenmessung ohne 
. zeigen Zwillingskorngrenzen 
hme der = 
ern, dass 
Bild 7: Korngrößenbestimmung mit EBSD 
In Bild 7 ist für eine dünne Kupferschicht die Notwendigkeit, Zwillingskorngrenzen in Kupfer bei 
der Bestimmung der Korngrößenverteilung zu eliminieren, deutlich veranschaulicht. In [9] wurde 
mittels Röntgenbeugung und EBSD nachgewiesen, dass die Ausbildung der Textur von der Breite 
der Kupferlinien abhängt. Insbesondere konnte gezeigt werden, dass sich die starke (1 11)- 
Fasertextur mit sich verringernder Linienbreite abschwicht, und dass Textur-Komponenten von 
Kornern, die sich nicht am Boden des mit Kupfer gefüllten Grabens sondern an den Seitenwéinden 
orientieren. hinzukommen. 
Fam 7] Linien in <110>- 
111} {11 
Lo 
A a 
Kontakten EBSD 
TEM sind (112}- 
Orientierungsverteilung 
in 0.35um-Kupferlinien 
.. Bild 8: Uberpriifung des Modells mittels EBSD 
tat der on- 
ellen de Bild 8 veranschaulicht schematisch die typische Ausrichtung von Kupferkérnern in einer 
¢ dar. d te Kupferlinie. Die Cu(l 12)-Orientierungsverteilungsbilder, die mittels EBSD ermittelt wurden, 
mer in den verdeutlichen die Verkippung der an den Seitenwénden orientierten Körner um etwa 5° gegenüber 
der Senkrechten zum Boden. Dieser Winkel entspricht dem durch den Atzprozess entstandenen 
in dünnen Neigungswinkel der Seitenwände gegenüber der Bodennormalen. 
e (electron 
pi