Prakt. Met. Sonderband 38 (2006) 411 
Materialografische Zielpréparation in unterschiedlichen 
Genauigkeitsgraden und deren Anwendungen unter 
Einbeziehung der Verbrauchsmaterialeigenschaften 
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/ AFM Struers GmbH, Willich, Deutschland 
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es for Kurzfassung 
on the In Rahmen dieses Beitrags werden die Möglichkeiten der materialografischen 
ties of Zielpraparation in verschiedenen Genauigkeitsstufen bis zu + Sum gezeigt. Es werden 
which sowohl Techniken für die manuelle als auch halb- und vollautomatische Probenpräparation 
je real und ihre vielfältigen Einsatzmöglichkeiten anhand von Beispielen aus der Praxis diskutiert. 
1. Einleitung 
asden In der Qualitätssicherung und vielen Bereichen der Forschung und Entwicklung, der 
SUNY Schadensanalyse und im Prototyping hat die Bedeutung der Zielpräparation zugenommen. 
vy, for Neben gerate- und préparationsintensiven und damit zwar sehr genauen, aber auch 
S "and teuren Verfahren werden auch die Möglichkeiten der Zielpräparation mit den klassischen 
materialografischen Methoden (Trennen, Einbetten, Schleifen und Polieren) 
weiterentwickelt. Die hohen Anforderungen an die Zielpräparation betreffen nicht nur die 
Entwicklung neuer Geräte, sondern beziehen auch die Kenntnis der Eigenschaften von 
Verbrauchsmaterialien, insbesondere deren Abtragsraten und die Vermeidung von 
Probenschädigungen, mit ein. 
Ziel ist es, dem Anwender die Voraussetzungen für eine dem jeweiligen 
‚ Appl. Verwendungszweck entsprechende Präparationstechnik vorzustellen und dabei die 
Verbrauchsmaterialien optimal in diese Techniken zu integrieren. 
YS. 
)4, p. 2. Möglichkeiten der Zielpraparation 
)5, p. Obwohl FehlergréRen im Submikrometerbereich im Zuge der Miniaturisierung zwar eine 
immer stärkere Rolle spielen, liegt die Masse der zu analysierenden Fehler im Millimeter- 
SS. und Mikrometerbereich. Damit sind die hohen Auflösungsanforderungen an die 
li, G Zielpräparationstechnik oft nicht gegeben. Für die tägliche Präparationspraxis werden 
deshalb nach wie vor die oben erwähnten klassischen metallografischen Verfahren 
eingesetzt. Zudem können und werden diese Verfahren oftmals auch als Vorstufen zur 
hochauflösenden Zielpräparation (z.B. FIB-Technik) genutzt, da es letzteren an den 
notwendig hohen Abtragsraten bei größeren Proben mangelt. 
Für die Zielpräparation auf Basis von Schleif- und Polierprozessen werden folgende 
Techniken verwendet: