416 Prakt. Met. Sonderband 38 (2006) 
Probenbeschaffenheit und den Genauigkeitsanforderungen die jeweilige Préparation 
zeitlich optimiert werden kann. Probenreinigung und Vermessung sind im Gerät integriert 
und erfolgen automatisch nach jeder Präparationsstufe. 
Die Proben werden in einem neigbaren Probenhalter (TargetGrip) fixiert, damit die 
Zielebene exakt parallel zur Schleifebene ausgerichtet werden kann (Abb. 10). 
Abb. 9: Target-System 
Abb. 10: Kippbarer Probenhalter (TargetGrip) 
Ein sehr wichtiger Punkt bei Zielpräparationen und vor allem beim Target-System sind die 
Abtragsraten der Verbrauchsmaterialien. Sind diese bekannt, können die Schleif- und 
Polierprozesse optimiert werden. Dazu hat das Target-System eine integrierte Datenbank, 
in der die Abtragsraten der verwendeten Schleif- und Polierunterlagen in Kombination mit 
den entsprechenden Suspensionen abgelegt sind. Da das Gerät mit Abtragsraten arbeitet, 
ist es wichtig, diese relativ genau zu kennen. Deshalb werden die realen Abtragsraten 
nach jedem Schritt angezeigt. 
Das Target-System ist bei allen Arten von Zielpräparationen (cross sections, 
Parallelschliffe) einsetzbar. Neben dem Einsatz für mikroelektronische Bauelemente, für 
die es ursprünglich konzipiert wurde (hierbei spielt es oftmals keine Rolle, ob die Proben 
eingebettet sind, Abb. 11), ergeben sich jedoch auch sehr viel breitere 
Anwendungsmöglichkeiten, die den gesamten Bereich der Materialografie betreffen.