Prakt. Met. Sonderband 46 (2014) 153
nsitäten von
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Tiefe [mm] Tiefe [mm]
Bild 4: Links: Intensität der Kohlenstofflinie des gemessenen Spektrums in Abhängigkeit
_ des Oberflachenabstandes erzeugt per SIMS. Rechts: Kohlenstofftiefenprofil erzeugt per
optischer Emissionsspektrometrie
Um dieses Kohlenstofftiefenprofii mit der per Sekundarionen-Massenspektrometrie
bestimmten Intensität der Kohlenstofflinie vergleichen zu können, wurde die
Kohlenstoffintensitat in einer Tiefe von 2 mm mit der Kohlenstoffkonzentration von
‚ und der 0,46 Ma%, gemessen per optischer Emissionsspektrometrie, gleichgesetzt. Damit ist es im
Weiteren möglich, jede gemessene Intensität in einen Kohlenstoffgehalt zu überführen und
die so umgerechnete Verteilung mit dem Profil der optischen Emissionsspektrometrie
gegenüber zu stellen (vgl. Bild 5). Der Vergleich zeigt eine sehr gute Übereinstimmung.
els optischer Damit ist die SIMS-Analyse qualifiziert und kann auch an schwerzugänglichen
ster vom Typ Bauteilbereichen angewendet werden.
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Bild 5: Vergleich der Kohlenstoffprofile.
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ie gemessen
enprofil ist in 5. ZUSAMMENFASSUNG
in definiertes
jei ungefähr Kohlenstofftiefenverteilungen wurden per optischer Emissionsspektrometrie und
Gradient und Sekundarionen-Massenspektrometrie (SIMS) fir ein einsatzgehartetes pulvermetallurgisch
hergestelltes Zahnrad erzeugt. Die erste der beiden Methoden erfordert dazu eine ebene
Auswerteflache. Tiefenprofile kdnnen durch abwechselndes Messen und mechanisches
