Prakt. Met. Sonderband 46 (2014) 235 
2n bereits Durch StoBprozesse zwischen abgetragenen und / oder Argon-lonen werden im Plasma 
achstums- atomspezifische Energielbergédnge angeregt und charakteristische Wellenlängen abge- 
olge kann geben. Aus elementspezifischer Wellenlänge und zugehöriger Intensität lässt sich ver- 
Bei Ni-Ti- gleichend die Konzentration des jeweiligen Elements zum gegebenen Zeitpunkt bestim- 
zung von men. 
ang ist es 
enzenden 
z.B. durch 3. ERGEBNISSE UND DISKUSSION 
nn durch 
ft werden. Kritisch für eine hohe Tiefenauflésung bei der Glimmentladungsspektroskopie sind 
lten Ni-Ti- schnelles Zünden, rasche Stabilisierung und lateral gleichmäßige Anregung des Plasmas. 
erisierung Andernfalls ist mit Spannungsiiberschidgen und ungleichméRigem Probenabtrag zu 
stallischen rechnen. Die Optimierung erfolgt durch Anpassung der Anregungsbedingungen wie 
Argondruck in der Messkammer, Anodenspannung und Strom. Im Falle der untersuchten 
Ni-Ti-Bleche konnte eine Stabilisierung von Spannung und Strom nach ~20 ms erreicht 
werden (Abbildung 2). 
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Abbildung 2: Verlauf von Spannung und Strom zu Beginn der Glimm- 
entladungsspektroskopie mit rascher Stabilisierung innerhalb von 
~20 ms. 
Durch Überprüfung der Spannungs- und Stromverläufe während der Messung und 
Auswertung des Messkraterprofils im Anschluss an die Messungen wurden geeignete 
Anregungsbedingungen mit lateral gleichmäßigem Materialabtrag bei druckgeregelter 
Messung mit 700V Anodenspannung und 3hPa Argondruck nachgewiesen [2]. Exem- 
ng fir die plarisch ist die Topographie eines Messkraters in Abbildung 3 dargestellt. Deutlich zu er- 
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