236 Prakt. Met. Sonderband 46 (2014)
kennen ist der planare Boden des Kraters mit lediglich geringen Abweichungen von der
Planaritat im Randbereich.
Profil des Messkraters nach GD-OES
c
@
Breite in mm
MA AAN
Abbildung 3: Exemplarisches Profil eines Messkraters nach Glimment-
ladungsspektroskopie (GD-OES).
Bei heterogenen Materialien bzw. Materialkombinationen ist zu beachten, dass sich
geeignete Anregungsbedingungen teils erheblich unterscheiden können, z.B. für
nichtleitende Passivierungsschichten und darunterliegende leitfähige Legierung. Je nach
Fragestellung muss entweder auf Passivierungsschicht oder Legierung optimiert. bzw. ein
geeigneter Mittelweg gefunden werden.
In Abbildung 4 ist ein unter den beschriebenen Anregungsbedingungen gemessenes und
quantifiziertes Konzentrationsprofil eines Ni-Ti-Blechs dargestellt. Die Umrechnung der In der L
Messdauer in eine Tiefeninformation erfolgte auf Grundlage von zuvor per Transmissions- und Rör
elektronenmikroskopie gemessenen Schichtdicken von Oxid und intermetallischer NisTi verfügbe
Phase [4]. Die Abtragsraten erreichten Werte bis ~200 nm/s. Prinzipiell ergibt sich aus der der Gli
Abtragsrate und der Integrationszeit zur Intensitatsbestimmung eine theoretische Grenze Messzei
der Tiefenauflösung. Die benötigten Integrationszeiten der empfindlichen Photoelek- hingege
tronenvervielfacher für die Bestimmung der Intensitaten fur Nickel, Titan und Sauerstoff der Tief
betrugen jeweils nur bis zu einer ms. Folglich ergibt sich eine theoretische Tiefenauflösung weitere
von weniger als einem nm. Dieser theoretisch erreichbaren Tiefenauflösung kann im vergleicl
Bereich der Probenoberfläche nahe gekommen werden. Aufgrund der zunehmenden von ~10
Abweichungen vom planaren Kraterprofil mit zunehmender Kratertiefe nimmt die lich zur |
Tiefenauflösung während der Messung aber ab. In Abbildung 3 ist im oberflächennahen die Mög
Bereich bis ~20 nm eindeutig ein Konzentrationsprofil für Nickel zu erkennen. Die Glimmeı
Schichtdicke entspricht in diesem Bereich etwa 50 bis 60 Atomlagen. Konzent
notwend
spektros
auf die /
