364 Prakt. Met. Sonderband 46 (2014) 
entspricht. Durch abwechselnde Ausführung von Annular Milling und t-EBSD wird nun die Des V 
Austenitkorngrenze in den ersten 200 nm der Spitze positioniert. allen | 
Annul; 
(oder 
Auflös 
Analys 
3.2 PF 
VERG 
In Abk 
den e 
weiter 
Abb. 2: REM-Aufnahme der angeatzten Atomsondenspitze. Die Griibchen weisen auf eine entlan 
ehemalige Austenitkorngrenze hin (gelbe Pfeile) [11]. or Fo! 
estin 
Die Atomsondenmessung der fertigen Spitze erfolgt am Gerat LEAP 3000X HR im Laser ehem: 
Modus mit einer Laserenergie von 0,3 nJ und einer Pulsrate von 250 kHz bei einer die da 
Temperatur von 60 K. Die Target Evaporation Rate ist auf 1 % gesetzt. Die Auswertung 
erfolgt mittels der Software IVAS 3.6.6 von Cameca. 
3. ERGEBNISSE UND DISKUSSION 
3.1 PARAMETERSTUDIE 
Die Parameterstudie soll zeigen, welche Beschleunigungsspannung und welcher 
Kippwinkel die Kikuchi-Beugungsbilder und dadurch die t-EBSD Analysen optimiert. Die 
Qualität der t-EBSD Messung wird anhand von Image Quality Maps, überlagert mit 
inversen Polfiguren, aufgezeigt. Wie in Abb. 3 ersichtlich, führt eine . 
Beschleunigungsspannung von 30 kV zu einer besseren Durchstrahlung, wodurch auch Abb. 
noch dickere Bereiche analysiert werden kénnen. um c 
Kippwinkel ei 
-50° -45° -35° 
20 kV 30 kV 20 kV 30 kV 20 kV 30 kV 
100 r 
un 
Abb. 3: Image Quality Maps, überlagert mit inversen Polfiguren, für verschiedene / 
Beschleunigungsspannungen und Kippwinkel. Die Kristallrichtung in Bezug auf die inverse Abb 
Polfigur-Kodierung ist parallel zu der Probenoberfläche. Ein typisches Kikuchi- 
Beuqunasbild für Molybdän ist im rechten oberen Eck ersichtlich [8]. ar