66 Prakt. Met. Sonderband 46 (2014) 
Auf Grund de 
vermutet, das 
und der dare 
beseitigen. 
Da es sich 
Oberflachens 
verringern. D 
ausreichte, u 
Reliefbildung 
] Daraufhin wı 
leitenden W 
Anschließenc 
Fig. 1: Elementverteilung FE Fig.2: Elementverteilung Ni Mit Rücksicht 
320 begonne 
Die Probe wu 
Tabelle 1: Pr: 
Unterlage 
SiC-Papier 
SiC-Papier 
SiC-Papier 
MD Dac 
MD : 
MD Chem 
Daraus result 
Fig. 3: FSE Aufnahme im Anlieferungszustand 
Wie erwartet, zeigt der Vergleich von Elementverteilungsdarstellungen und Forscattered 
electron (FSE) image, dass die Qualitat der Oberflachenpréparation auf das EDX Ergebnis 
keinen wesentlichen Einfluss hat. 
Trotz erfolgte 
Verformungel 
und Neuman 
erreichen, hé 
wegen der zu 
Dieses Beisp 
einer Prépar: 
oder gar nich 
Fig. 4: Pattern Quality im Anlieferungszustand (siehe Fig. 1 und 2) einem geeigr