250 Prakt. Met. Sonderband 47 (2015) 
Hz beträgt. Bei der Simulation wurden alle Material- und Messparameter konstant gehalten, ere 
während die Viskosität von 10" Pa s auf einen Messwert von 1,93 mPa s [11] erniedrigt wurde. Die jeer 
Schichtviskositit hat fiir Schichten von 4 um demnach einen nicht zu vernachlässigbaren Einfluss 
auf die Enthalpiebestimmung. Sie kann die gemessenen Frequenzsprünge aber nicht vollständig 
erklären. Ursache der hohen der Frequenzsprünge könnten zusätzliche mechanische Spannungen in 
der Grenzfläche Elektrode/Zinn-Schicht sein, die durch unterschiedliche Gitterparameter, 
thermische Ausdehnung oder Interdiffusion entstehen [12]. Abnehmende Konzentrationsgradienten 
zwischen Elektrode und Zinn-Schicht verringern die Triebkräfte der Interdiffusion mit jedem 
Aufschmelzvorgang, weshalb die zusätzlichen Spannungen abnehmen könnten und die gemessenen 
Frequenzsprünge kleiner werden. Die Messung sollte unter Nutzung dünnerer Schichten fortgeführt N 
werden. 
5 Zusammenfassung a 
Der Einfluss der Schichtdicke auf die Charakterisierung der thermodynamischen Eigenschaften ee 
dünner Schichten mit dem TFC ist anhand von Zinn-Dünnschichten untersucht worden. Für Proben wa 
bis zu Schichtdicken von 1,4 um konnten nach dem ersten Aufschmelzvorgang keine weiteren iy 
Frequenzspriinge am Schmelzpunkt von Zinn detektiert werden. Mit SIMS-Analysen konnte Sta 
gezeigt werden, das Platin- und Rhodium-Atome unter Berücksichtigung der in Abschnitt 4.2 fv 2 
genannten Einschränkungen in die Zinn-Schichten eindiffundiert sind. Die Legierungsbildung Ld 
könnte den Schmelzpunkt der Dünnschicht stark erhöht haben. Für Proben mit Schichtdicken io 
größer als 2 um wurden reversibel Frequenzspriinge am Schmelzpunkt von Zinn gemessen. Daraus WO 
berechnete Schmelzenthalpien (Beispiel: durchschnittlich 138,3 J/g für Probe 4) liegen aber deutlich oY 
iber den Literaturwerten [8]. Die Simulation ergab, dass der Einfluss der Viskosität der a 
Dünnschichten am Schmelzpunkt nicht allein für die hohen Frequenzsprünge verantwortlich ist. 
Wahrscheinlicher ist, dass zusätzliche mechanische Spannungen in der Grenzfläche Elektrode/Zinn- 
Schicht den Frequenzsprung erhöhen. I 
6 Literaturverzeichnis 
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