Prakt. Met. Sonderband 47 (2015) 291 
a Eine wasserbasierte, kolloidale SiO2-Suspension mit einer Korngröße von 0,05 um wurde für die 
It Finalpolitur verwendet. 
1, Deschichyey 
“0 rere Um ein geeignetes Atzverfahren fiir die Diinnschichtmembrane aus Bag 5Sro sCog sFeo203.4 (BSCF) 
r m zu entwickeln wurden drei Säuren mit unterschiedlich starker Ätzwirkung ausgewählt. 
he Hochkonzentrierte Salpetersäure (95% bis 98%) wurde im Verhältnis 10:90 Vol-% mit 
ro deionisiertem Wasser verdiinnt. 
m 96%-ige Essigsäure wurde im Verhätnis 10:90 Vol-% mit deionisiertem Wasser verdünnt 
LT mM Zitronensäure (Monohydrat) wurde in deionisiertem Wasser im Verhätnis 50:50 Gew-% gelöst. 
Zur Aufnahme der Schliffbilder diente ein inverses Mikroskop ,,Axio Vert.Al MAT* mit LED- 
: Lichtquelle der Fa. Zeiss. Für alle Untersuchungen fand ein Objektiv EC Epiplan-Neofluar 50x/0,80 
Le HD DIC Verwendung. Alle Aufnahmen wurden zwecks besserer Darstellung aus z-Stapel-Bildern 
0, Würden di erstellt. 
zeit (wenige Zur Erstellung der Digitalbilder wurde die hochauflésende Mikroskopie-Kamera ,,AxioCam MRc* 
genutzt in der gewihlten Auflosung 1388x1040 Pixel genutzt. 
4 Ergebnisse 
a Treibacher 4.1 Salpetersäure 
ind getrigert Keramiken werden auf Grund ihrer chemischen Stabilität im Allgemeinen mit einer starken Säure 
zess ist in [3] wie Salpetersäure, Schwefelsäure oder gar Flusssäure geätzt. Hier wurde 96-98%ige Salpetersäure 
verwendet, die zudem 10:90 Vol% mit deionisiertem Wasser verdünnt wurde. Da die hier 
ler Fa. Bueh verwendeten Membranmaterialien mit Perowskitstruktur im Gegensatz zu üblichen technischen 
SE (A. ! Keramiken wie Al,O3 oder SiC eine geringe Stabilitdt in sauren Medien aufweisen zeigte sich eine 
formen dienten zu rasche und starke Wirkung dieser aggressiven Säure sehr deutlich. 
Nach einer üblichen Einwirkzeit von 30s war die Probe schon deutlich überätzt Abbildung 1A, 
antrums Jülich sodass die Einwirkzeit beim nächsten Versuch auf 5s abgesenkt wurde. Selbst dann war die Probe 
insgesamt überätzt, jedoch wurden nun auch partiell Korngrenzen sichtbar, Abbildung 1B. Eine 
Firma ATM. Es weitere Absenkung der Einwirkzeit zeigte auch kein zufriedenstellendes Ergebnis. Auferdem wird 
frock ve <0"! es bei sehr geringen Einwirkzeiten immer schwieriger, ein reproduzierbares Ergebnis zu erreichen, 
weshalb dieser Ansatz nicht weiter verfolgt wurde.