18  Prakt. Met. Sonderband 47 (2015) 
erhält. Eine Quantifizierung der chemischen Zusammensetzung des Spitzenvolumens ist 
einfach, da standardlos gearbeitet werden kann. 
Eine große Herausforderung stellt die Probenpräparation dar. Üblicherweise werden die 
Spitzen für die Atomsondentomographie mittels FIB-Technik hergestellt. Dabei wird ein 
Materialstück, das den interessierenden Probenbereich enthält, mittels lift-out Technik an der 
Spitze eines Probenhalters angebracht und dann die finale Spitze mit dem zu analysierenden 
Volumen präpariert. So ist es möglich, zielgenau kleinste Volumina zu analysieren. 
Halbleiter und Metall sowie verschiedene Metalloxide sind geeignete Objekte für die 
Atomsondentomographie. So kann man mit dieser die Verteilung von implantierten Atomen 
sichtbar machen, die Segregation von Atomen an Korngrenzen, die Interdiffusion innerhalb 
von Schichtstapeln und die Phasenbildung im nm-Bereich nachweisen. Schichtstapel und 
Strukturen, die SiO» enthalten, sind fiir die Atomsondentomographie nur bedingt geeignet. 
Als Beispiel ist in Abb. 7 die thermisch induzierte Segregation von implantiertem As an die 
Korngrenzen von polykristallinem Si gezeigt. 
Abb. 7: 3D-Kompositionsanalyse eines Poly-Si Volumens mit As-Segregation an die Korngrenzen 
6. Literatur 
[1] L. Reimer, Image Formation in Low-Voltage Scanning Electron Microscopy, Tutorial 
Texts in Optical Engineering, Vol. TT 12, SPIE Optical Engineering Press, Bellingham 1993 
[2] L.A. Giannuzzi, F.A. Stevie, Introduction to Focused Ion Beams, Springer 
Science+Business Media Inc., New York 2005 
[3] C. Kiibel et. al., Recent Advances in Electron Tomography: TEM and HAADF-STEM 
Tomography for Materials Science and Semiconductor Applications, FEI Company, 2005 
[4] H.-H. Brongersma, M. Draxler, M. de Ridder, P. Bauer, Surface composition analysis by 
low-energy ion scattering, Surface Science Reports 62 (2007) 63-109 
[5] T.F. Kelly, D.J. Larson, Atom Probe Tomography 2012. Annual Review of Materials 
Research, Vol. 42, 1-31, 2012