Prakt. Met. Sonderband 47 (2015) 53
der Strukturel. . re . ee . .
Qh ben die Messung der intrinsischen Spannung im Silizium. Falls nicht nur der kohärente Anteil, son-
Xs o dern auch der diffuse Anteil der Röntgenstrahlung gemessen wird, erhält man die Möglichkeit auch
sinmey . die Defektdichte und dadurch auch die Defektmobilität zu bestimmen. Über die Mobilität von De-
then ee fekten, die mit Hilfe der diffusen Streuung bestimmt werden kann, werden die Alterungsprozesse
c dione i untersucht.
Möge .
N ye Goniometer Detectorcircle
ide} Se N S le 28 Bartels Monochromator Multilayer - Mirror
Dreieck zu (Ge 220) y (focusing)
> TICCK ZWI- .
Samplecircle
+ C a Si
K-ray
SOUFCe
(Ge 220;
Detecto:
Pos 2
os 4 Jstector
Pos 1
Figur 2: Experimenteller Aufbau der Rontgenmessung mitmechanische Testeinrichtung
Wird nun an einem Siliziumsensor der Strain mittels der Diffraktion bestimmt, kann daraus die
Spannung im Material bestimmt werden. Diese Materialsspannung kann nun an verschiedenen Or-
ten und fiir verschiedene kristallographischen Orientierungen des Siliziums durchgefiihrt werden.
Daraus lässt sich ein Spannungstensor bestimmen. Falls dieselbe Messung auch unter externer Be-
lastung (mechanisch, elektrisch, termisch...) durchgeführt wird, kann die Veränderung dieses
Spannungstensors bestimmt werden. Je grösser der Spannungsgradient, umso höher das Risiko von
| beschleunigter Alterung. Durch die Variation der Parameter kann nun versucht werden, die Span-
Die Entwick nungsgradienten zu minimieren um auch die Alterung zu reduzieren. Weiterführende Literatur [2-5]
nz und © kann der Referenzliste entnommen werden.
‘Reliability an
vise oder totale
thafien sar 3 Resultate
ren begleiten.
imensetzuncen, ‘ :
Custeme da sie Wird nun an einem Drucksensor die Grenzfläche mittels hochauflösender Röntgendiffraktion ge-
messen wie in Figur 3 gezeigt, so kann die Spannung an diesen Grenzflächen bestimmt werden. Je
grösser der Spannungsgradient, umso höher das Risiko von beschleunigter Alterung. Durch die Va-
riation der Bonding-Parameter kann nun versucht werden, die Spannungsgradienten zu minimieren
nicht um die Alterung zu reduzieren.
dirt mit DIL
or Bilge yon
(Fig, J) erlau-
