Full text: Fortschritte in der Metallographie

Prakt. Met. Sonderband 47 (2015) 55 
Figur 5: Spannungsgradient an der Grenzfliche eines Drucksensors 
Die Spannung hat an der &ussersten Kante erwartungsgemiss ein Maximum das mit c  =-16(5) MPa 
bestimmt wurde. Deutlich sichtbar ist also auch der Ort des grössten Spannungsgradienten, nämlich 
der Rand. Tatsächlich treten auch dort die meisten Problem auf. Ziel der technologischen Entwick- 
lung dieses Drucksensors war es, diesen Spannungsgradienten am Rand zu minimieren. 
Es zeigte sich, dass Sensoren mit kleinerem Spannungsgradienten auch viel kleinere Drifts der 
elektrischen Signale aufweisen. Damit zeigt es sich, dass HRXRD durchaus in der Lage ist Zuver- 
lässigkeitsstudien an Sensoren speziell auch im Hinblick auf deren Alterung bei Langzeitanwen- 
dungen zu unterstützen. 
4 Literatur 
[1] A. Neels, A. Dommann, A. Schifferle, O. Papes, E. Mazza, Reliability and Failure in Single 
Crystal Silicon MEMS Device, Microelectronics Reliability, 48, 1245-1247, 2008 
[2] A. Dommann, A. Neels, The role of strain in new semiconductor devices, Advanced Engi- 
neering Materials, 11, 275-277, 2009. 
[3] A. Neels, A. Dommann, A. Schifferle, O. Papes, E. Mazza, Reliability and Failure in Single 
Crystal Silicon MEMS Devices, Microelectronics Reliability, 48, 1245-1247. 2008. 
[4] E. Mazza, J. Dual, Mechanical behavior of a um-sized single crystal silicon structure with 
sharp notches. J. Mechanics and Physics of Solids 47 (1999) 1795-1821. 
[5] T. Kreiliger, C. Falub, F. Isa, G. Isella, D. Chrastina, R. Bergamaschini, A. Marzegalli, R. 
Kaufmann, P. Niedermann, A. Neels, E. Miiller, M. Medunia, A. Dommann, L. Miglio, H.V. 
Kleiner Kénel, Epitaxial Ge-crystal arrays for X-ray detection, Journal of Instrumentation, Journal of 
[nstrumentation, 9., 2014. 
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