48 Prakt. Met. Sonderband 50 (2016)
00 Information über
90 Abbildung 1: Anzahl an Publikationen zum Thema einem EDX-Map
so „FIB Tomography“ (Suche nach „FIB Tomography“ in zwei gravierende
70 Titel, Abstract und Keywords bei Scopus [5]) 10 Minuten und I:
a Stunden. Zweiter
a Elektronenstrahls
x reduziert (je nact
m reicht man auch n
liegende Schichte
gb ‚04 183388258 ten SE-Tomogray
Jahr Schnittabstand v¢
Abbildung mit ei
nm?) und nur jed
2.1 Probenvorbereitung nm’). Für die ans
Zu Beginn der FIB/REM Tomographie muss, unabhängig von der Art der REM Aufnahmen, das zu Identifizierung di
; ; La ; FIB/REM Serien
untersuchende Probenvolumen mit dem Ionenstrahl freigelegt werden. Dazu wird eine geeignete Pro- ;
benstelle ausgewählt und ein U-förmiger Schnitt hergestellt, der die Querschnittsfläche freilegt und Sigrang VON ALS
eine Redeposition von Material an den Seiten bzw. Abschattungseffekte verhindert. Um geringe Pro- [8] eingesetzt.
zesszeiten zu ermöglichen, wird dabei meist auf den größtmöglichen Ionenstrom zurückgegriffen.
Die Probenoberfläche wird dabei von einer dünnen, mit dem Ionenstrahl abgelagerten Platin-Schicht
geschützt, die gleichzeitig den sogenannten Curtaining-Effekt, der die Oberfläche der Querschnitte 4 FIB/REN
unregelmäßig erscheinen lässt, vermeidet oder zumindest vermindert.
Die Integration ı
2.2 Automatisierung der Serienschnitte rung dar als die
Zur automatischen Durchführung der Serienschnitte stehen mit den FIB/REM-Mikroskopen kom- des Messaufbaus
merzielle und nutzerfreundliche Software-Lösungen zur Verfügung. So werden Schritt für Schritt das ronenstrahl für ei
zu untersuchende Volumen, der Schnittabstand und Parameter der Bildaufnahme und des Abtrags der Querschnittsf
eingestellt. Anschließend werden ohne Eingreifen des Nutzers abwechselnd Serienschnitte und Bild- recht auf die Prot
aufnahme durchgefiihrt und die Serienbilder abgespeichert. einen Winkel vo
Neben dieser benutzerfreundlichen Losung konnen die Prozessablaufe auch mit geritespezifischen schen Abtrag un
Skriptsprachen gesteuert und automatisiert werden. Bei den in dieser Arbeit verwendeten Geräten zurückgegriffen
FEI Strata DB 235 und FEI Helios 600 Nanolab kommt dabei die Skriptsprache FEI AutoScript [6] den Abtrag ist di
zur Anwendung. Ein Problem dabei ist die Einbindung von EDX bzw. EBSD-System, da dieses im gesetzter Richtus
Allgemeinen von einem anderen Hersteller stammt (im vorliegenden Fall von EDAX/TSL) und eine gegen den Elekt
automatisierte Ansteuerung nicht ohne tiefergehende Programmierung möglich ist. Einen Umweg zum um 52° gekı
bietet die frei verfügbare Skriptsprache Autolt [7], mit der allgemein Prozessabläufe unter Windows werden. Damit a
automatisiert werden können. In Kombination von Autolt Skripten und FEI AutoScript war es mog- und man erhält c
lich, auch ein EDX-Mapping vollautomatisch in den Serienschnittprozess zu integrieren [8]. Jonensäule müss
Bilder liegen hie
recht zur Proben
. . . . Probe senkrecht
3 FIB/REM Serienschnitte mit EDX-Mapping realisiert werden
der gekippten Pr
Typische Schnittabstände bei der FIB/REM Tomographie liegen im Bereich 10nm bis 200nm und gen Kippwinkel
mit Hilfe der Sekundärelektronenabbildung können in den einzelnen Bildern Auflösungen von weni- erhält die für EB
gen Nanometern erreicht werden. Zudem ist die eigentliche Bildaufnahme im SE-Kontrast mit typi- von 70° (36°-16
scherweise 10 bis 30 Sekunden relativ schnell. Allerdings liefert der SE-Kontrast nur eingeschränkte kante)
